Вернуться к Подробностям о статье
ИССЛЕДОВАНИЯ АТОМНОГО И ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ АМОРФНЫХ ПЛЁНОК a-SiOx:H, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ ГАЗОСТРУЙНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ С АКТИВАЦИЕЙ ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВОЙ ПЛАЗМОЙ
Скачать
Скачать PDF