Terekhov, V. A., Tetelbaum, D. I., Turishchev, S. Y., Spirin, D. E., Pankov, K. N., Nesterov, D. N., Mikhaylov, A. N., Belov, A. I., & Ershov, A. V. (2013). ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ УГЛЕРОДА НА ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПЛЕНОК SiO2:NC-Si/Si ПО ДАННЫМ БЛИЖНЕЙ ТОНКОЙ СТРУКТУРЫ РЕНТГЕНОВСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ. Конденсированные среды и межфазные границы, 15(1), 48-53. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/877