Afonin, N. N., Darinskii, B. M., Logachova, V. A., & Khoviv, A. M. (2012). АНАЛИЗ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ КОНЦЕНТРАЦИИ КОМПОНЕНТОВ В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НИОБИЯ НА КРЕМНИЙ. Конденсированные среды и межфазные границы, 14(1), 9-14. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/940