Влияние режимов электрохимического травления при одностадийном и двухстадийном формировании пористого кремния на степень окисления его поверхностных слоев в естественных условиях. (2019). Конденсированные среды и межфазные границы, 21(4), 534-543. https://doi.org/10.17308/kcmf.2019.21/2364