ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКСИДИРОВАНИЕ КАК СПОСОБ СОЗДАНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПЛЕНОК НА ПОЛУПРОВОДНИКАХ AIIIBV: ВОЗДЕЙСТВИЕ НАНЕСЕННЫХ СЛОЕВ МЕТАЛЛОВ. (2018). Конденсированные среды и межфазные границы, 20(1), 6-24. https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/472