ИДЕНТИФИКАЦИЯ ИНДИВИДУАЛЬНЫХ ВЕЩЕСТВ И ФАЗОВЫЙ АНАЛИЗ СМЕСЕЙ МЕТОДОМ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ
Ключевые слова:
фазовый анализ, эллипсометрический метод, эллипсограммаАннотация
Предложен метод идентификации индивидуальных веществ и фазового анализа смесей, основанный на измерении состояний поляризации падающей, отражённой или преломлённой линейно-поляризованной световой волны от поверхности поликристаллического порошка. Результаты представимы в форме соответствующих спектров смесей и чистых веществ – эллипсограмм. Сравнение их между собой даёт возможность определять фазовый состав образцов.






