МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОК PbTe/Si (100), СИНТЕЗИРОВАННЫХ МОДИФИЦИРОВАННЫМ МЕТОДОМ «ГОРЯЧЕЙ СТЕНКИ»
DOI:
https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/483Ключевые слова:
теллурид свинца, тонкие пленки, микроструктура, морфология поверхнос- ти, латеральный размер кристаллитов, шероховатость поверхности.Аннотация
Методами растровой электронной микроскопии, локального рентгеноспектрального анализа, рентгенофазового анализа и атомно-силовой микроскопии изучен количественный элементный состав, фазовая природа, а также морфология поверхности гомогенных пленок теллурида свинца, синтезированных модифицированным методом «горячей стенки» на подложках Si (100). При повышении температуры Si (100) подложки до Т = 593 - 608 К синтезированы мозаичные монокристаллические пленки PdTe с текстурой (100). Установлено, что повышение температуры Si подложки при остальных постоянных режимах синтеза способствует увеличению средних латеральных размеров кристаллитов пленок. Показано, что средняя величина латеральных размеров кристаллитов пленок PbTe на подложках Si (100) увеличивается с ростом толщины и продолжительности синтеза. Установлено, что средние значения шероховатости пленок PbTe/Si (100) увеличиваются с ростом средней толщины пленок PbTe. При этом поликристаллические пленки PbTe/Si (100) при одинаковых значениях средней толщины характеризуются более высокими значениями шероховатости по сравнению с мозаичными монокристаллическими образцами PdTe (100).
Экспериментальные исследования были проведены с помощью научно-технической базы ЦКПНО ВГУ.
