ВЛИЯНИЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ОТЖИГОВ НА ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ И СОСТАВ МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 ПО ДАННЫМ СИНХРОТРОННЫХ XANES ИССЛЕДОВАНИЙ

Dmitry A. Koyuda; Vladimir A. Terekhov; Alexey V. Ershov; Elena V. Parinova; Irina A. Karabanova; Sergey Yu. Turishchev; Alexandra K. Pisliaruk

doi:10.17308/kcmf.2018.20/585

Авторы

Dmitry A. Koyuda Коюда Дмитрий Анатольевич – м. н. с., совместная лаборатории "Электронное строение твердого тела", Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208363, e-mail: koyuda@phys.vsu.ru
Vladimir A. Terekhov Терехов Владимир Андреевич – д. ф.-м. н., профессор, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208363, e-mail: ftt@phys.vsu.ru
Alexey V. Ershov Ершов Алексей Валентинович – к. ф.-м. н., доцент, кафедра физики полупроводников и оптоэлектроники, Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия; тел.: +7(831) 4623306, e-mail: ershov@phys.unn.ru
Elena V. Parinova Паринова Елена Владимировна – к. ф.-м. н., н. с., кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208363, e-mail: parinova@phys.vsu.ru
Irina A. Karabanova Карабанова Ирина Алексеевна – вед. электроник, кафедра физики полупроводников и оптоэлектроники, Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия; тел.: +7(831) 4623306, e-mail: karabanova@phys.unn.ru
Sergey Yu. Turishchev Турищев Сергей Юрьевич – д. ф.-м. н., доцент, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208363, e-mail: tsu@phys.vsu.ru
Alexandra K. Pisliaruk Александра Константиновна Пислярук – студентка, кафедра физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208363, e-mail: pisliaruk@phys.vsu.ru

DOI:

https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/585

Ключевые слова:

многослойные нанопериодические структуры, нанокристаллы, кремний, оксиды кремния, электронное строение, фазовый состав, синхротронное излучение, XANES.

Аннотация

В работе с использованием синхротронного метода спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения изучено влияние высокотемпературных отжигов в области температур от 500 до 1100 °С на изменение электронного строения и состава многослойных нанопериодических структур a-Si/ZrO₂ и a-SiO_x/ZrO₂. Наблюдаемые различия в тонкой структуре синхротронных спектров кремния объясняются различным окислением кремниевых нанослоев уже в исходных структурах. Показана возможность упорядочения в расположении атомов кремния слоев многослойных нанопериодических структур a-Si/ZrO₂ и a-SiO_x/ZrO₂при максимальной температуре отжига.

Работа выполнена при поддержке Министерства образования и науки Российской федерации в рамках государственного задания ВУЗам в сфере научной деятельности на 2017–2020 гг. – проект № 16.8158.2017/8.9.