АНАЛИЗ МОРФОЛОГИИ И СОСТАВА ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ НИТРИДА ТИТАНА, СФОРМИРОВАННЫХ МЕТОДОМ КОНДЕНСАЦИИ С ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ

Pavel V. Orlov; Dmitry N. Korotaev; Sergey N. Nesov; Petr M. Korusenko; Sergey N. Povoroznyuk

doi:10.17308/kcmf.2018.20/638

Авторы

Pavel V. Orlov Орлов Павел Викторович – к. т. н., в. н. с. Сибирского государственного автомобильно-дорожного университета (СИБАДИ), Омск, Россия; тел.: +7 (3812) 650145, e-mail: orlov-pv@mail.ru
Dmitry N. Korotaev Коротаев Дмитрий Николаевич – д. т. н., доцент, профессор Сибирского государственного автомобильно-дорожного университета (СИБАДИ), Омск, Россия; тел.: +7 (3812) 729979, e-mail: korotaevd99@mail.ru
Sergey N. Nesov Несов Сергей Николаевич – к. ф.-м. н., м. н. с. лаборатории физики наноматериалов и гетероструктур Омского научного центра СО РАН (ОНЦ СО РАН), Омск, Россия; тел.: +7 (913) 6639018, e-mail: nesov55@mail.ru
Petr M. Korusenko Корусенко Петр Михайлович – к. ф.-м. н., м. н. с. лаборатории физики наноматериалов и гетероструктур Омского научного центра СО РАН (ОНЦ СО РАН), доцент кафедры «Машиностроение и материаловедение» Омского государственного технического университета, Омск, Россия; тел.: +7 (983) 6214220, e-mail: korusenko@obisp.oscsbras.ru
Sergey N. Povoroznyuk Поворознюк Сергей Николаевич – к. т. н., доцент, с. н. с. лаборатории физики наноматериалов и гетероструктур ОНЦ СО РАН, доцент кафедры «Машиностроение и материаловедение» Омского государственного технического университета, Омск, Россия; тел.: +7 (913) 1422386, e-mail: povorozn@obisp.oscsbras.ru

DOI:

https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/638

Ключевые слова:

нитрид титана, покрытие, конденсация с ионной бомбардировкой, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, ионное травление.

Аннотация

С применением экспериментальных методов анализа исследованы морфология, элементный состав и химическое состояние элементов покрытий на основе нитрида титана, формируемых методом конденсации с ионной бомбардировкой. Установлено, что покрытия с различным временем формирования обладают достаточно близким химическим составом и содержат нитрид (TiN), оксинитрид (TiN_xO_1-_x), оксид (TiO_x), карбид титана (TiC). Однако с увеличением времени формирования в покрытиях наблюдается повышение доли углерода, входящего в состав карбида титана. На основе анализа состава покрытий, полученных при различной длительности формирования, а также данных об изменении состава покрытий по глубине предложена возможная динамика внедрения и диффузии примесей (углерода и кислорода) в процессе формирования покрытий.

Авторы выражают благодарность Ивлеву К. Е. за проведение исследования образцов методом SEM, а также руководству ОмЦКП СО РАН за предоставление оборудования для исследования образцов методами SEM и EDX.

Работа выполнена при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках государственного задания, проект № 11.11760.2018/11.12.