ELASTIC STRESS EFFECT AT THE SOLID PHASE SOLUBILITY IN InSb - InAs EPITAXIAL FILMS
Abstract
На основании расчета температурно-концентрационной зависимости свободной энергии Гиббса установлено, что в системе InSb — InAs при 300 К растворимость не превышает 5—7 мол.% с обеих сторон. В случае эпитаксиальных пленок под влиянием упругих
напряжений, возникающих из-за несоответствия периодов решетки пленки и подложки, пределы растворимости изменяются. Стабилизирующее влияние оказывают только те подложки, период решетки которых лежит в интервале 0,610—0,644 нм. На подложке, изопериодной эквимолярному составу, возможно получение гомогенных твердых растворов InSb1–xAsx во всем интервале концентраций при толщине пленок 10 нм.
Downloads
References
2. Stringfellow G.B. // J. Electron. Mater. 1982. V. 11. P. 903.
3. Глазов В.М., Павлова Л.М. Химическая термодинамика и фазовые равновесия. М.: Металлургия, 1981. 366 с.
4. Удовский А.Л. // Журн. физич. химии. 1977. Т. 51. №4. С. 796—800.
5. Семенова Г.В., Сушкова Т.П., Козлова Ю.М. // Журн. физич. химии. 2002. Т. 76. № 9. С. 1600—1604.
6. Баранский П.И., Клочков В.П., Потыкевич И.В. Полупроводниковая электроника. Справочник. Киев: Наукова думка, 1975. 704 с.
7. Джексон К.А., Шретер В. Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов / пер. с англ. под ред. Э.П. Домашевской. Воронеж: Водолей, 2004.
8. Андерсон О. Физическая акустика // Динамика решетки. Под ред. У. Мэзона. М.: Мир, 1968. Т. 3. Ч. Б. 391 с.
9. Brantley W.A. // J. Appl. Phys. 1973. V. 44. P.534.
10. Ohtani H., Kobayashi K., Ishida К. // J.Phase equillibria. 2001. V. 22. № 3. P. 276—286.
11. Van der Merve I.H. // J. Appl. Phys. 1962. V. 34. P. 123.
12. Matthews I.W. // J. Vac. Sci. Technol. 1975. V. 12. P. 126.
13. Кузнецов В.В., Москвин П.П., Сорокин В.С. Неравновесные явления при жидкостной гетероэпитаксии полупроводниковых твердых растворов. М.: Металлургия, 1991. 175 с.
14. People R., Bean I.C. // Appl. Phys. Lett. 1985. V. 47. № 3. P. 322—324.
15. Тхорик Ю.А., Хазан Л.С. Пластическая деформация и дислокации несоответствия в гетероэпитаксиальных системах. Киев: Наук. думка, 1983. 304 с.
16. Quilles M., Launois H., Yoncour M.C. // J. Vac. Sci. Technol. 1983. V. 61. P. 238.