IMPURITY SEGREGATION AND MODIFICATION OF THE PROPERTIES OF MULTI‑LAYERED FILMS

Abstract

В рамках феноменологического подхода проведено теоретическое рассмотрение
кинетики перераспределения примеси в тонком слое, находящемся между отличающимися
друг от друга слоями иных материалов. Предполагалось, что на одной границе слоя проис-
ходит сегрегация примеси, а на второй возможны иные процессы: десегрегация, испарение
примеси или ее диффузия в материал по другую сторону границы. Выполнено моделирование
сегрегации меди в пленке состава Au-Ni-Cu-Cr. Показано, что на границу Au-Ni выходит не
только остаточная примесь меди в никеле, но и значительное количество меди, образовывавшей
ранее слой между никелем и хромом.