X-RAY SPECTROMETRY INVESTIGATIONS OF LOCAL ELECTRONIC AND ATOMIC STRUCTURE OF SILICON NANOLAYERS ON HIGHLY ORIENTED PYROLYTHIC GRAPHITE SUBSTRATE
Abstract
Методами спектроскопии ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения (XANES) и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии (USXES) были исследованы особенности локальной плотности электронных состояний в кремниевых нанослоях, сформированных на подложке высокоориентированного пиролитического графита (HOPG). Установлено формирование фаз низкокоординированного кремния (силицина) и карбида кремния, а также выявлено существенное разупорядочение атомов кремния в этих слоях и обнаружены свидетельства формирования частью атомов кремния упорядоченной структуры на графитовой подложке.
Downloads
References
2. Zeng B., Xiong G., Chen S. et al. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 90. № 3. 033112.
3. Филатов Д. О., Антонов Д. А., Зубков С. Ю., и др. // Известия РАН. Серия физическая. 2011. Т. 75. № 1. С. 18—22.
4. Солдатов А. В. // Соросовский образовательный журнал. 1998. № 12. С. 101—104.
5. Зимкина Т. М., Фомичёв В. А. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия // Изд-во ЛГУ, 1971. 132 с.
6. Kasrai M., Lennard W. N., Brunner R. W. et al. // Appl. Surf. Sci. 1996. V. 99. P. 303—302.
7. Terekhov V. A., Kashkarov V. M., Manukovskii E. Yu. et al. // J. Electron Spectr. and Rel. Phen. 2001. V. 114—116. P. 895—900.
8. Машин А. И., Домашевская Э. П. и др. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 8. С. 995—1000.