ПАРОФАЗНАЯ МОДИФИКАЦИЯ ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫХ МИКРОВЕСОВ
Ключевые слова:
пьзокварцевые микровесы, модификация, пары сорбентов, легколетучие соединения, метрологические характеристики, сенсоры.Аннотация
Предложен способ парофазной модификации пьезокварцевых микровесов, позволяющий снизить погрешность на стадии формирования пленки модификатора и повысить чувствительность определения тест-соединений в газовой фазе. Представлены результаты сенсорных
и электронно-микроскопических исследований пленок, сформированных из паровой фазы.






