ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ОСАЖДЕНИЯ НА СОСТАВ И СТРУКТУРУ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ

Vitaly A. Tarala

Authors

Vitaly A. Tarala PhD (chemistry sciences), senior scientifi c employee, South Scientifi c Center RAS; tel.: (8652) 944172, e-mail: Vitaly-tarala@yandex.ru

Keywords:

карбид кремния, тонкие пленки, структура, состав, хлорсодержащие крем- нийорганические соединения.

Abstract

Исследованы пленки карбида кремния, синтезированные в реакторах с горячей и холодной стенками методом химического осаждения из парогазовой смеси, содержащей кремнийорганические соединения ((CH3)3SiCl, (CH3)2SiCl2, CH3SiCl3) в водороде. Установлено,
что при температурах осаждения в области 900 °C происходит изменение структуры пленки карбида кремния от аморфной до аморфно-кристаллической. При температурах синтеза до 900 °C повышение концентрации водорода в парогазовой смеси ведет к увеличению его концентрации в пленке. Использование дополнительной термической активации парогазовой смеси (реализация процесса в реакторе с горячей стенкой) позволяет снизить температуру синтеза с 950 °C до 700 °C.