ПАРОФАЗНАЯ МОДИФИКАЦИЯ ПЬЕЗОКВАРЦЕВЫХ МИКРОВЕСОВ

Yalia Е. Silina; Tatyana A. Kuchmenko; Jacov I. Korenman

Authors

Yalia Е. Silina PhD (chemical sciences), associate professor of chemistry department, Voronezh State Technical University; tel.: (473) 2359168, (906) 6707418, e-mail: mssila@yandex.ru
Tatyana A. Kuchmenko grand PhD (chemical sciences), professor, chief of physic and analytical chemistry chair, Voronezh State University of Engineering Tehnologies; tel.: (473) 2550762, e-mail: tak@vgta.vrn.ru
Jacov I. Korenman grand PhD (chemical sciences), professor of physic and analytical chemistry, Voronezh State University of Engineering Tehnologies; e-mail: korenman@ vgta.vrn.ru

Keywords:

пьзокварцевые микровесы, модификация, пары сорбентов, легколетучие соединения, метрологические характеристики, сенсоры.

Abstract

Предложен способ парофазной модификации пьезокварцевых микровесов, позволяющий снизить погрешность на стадии формирования пленки модификатора и повысить чувствительность определения тест-соединений в газовой фазе. Представлены результаты сенсорных
и электронно-микроскопических исследований пленок, сформированных из паровой фазы.