АНАЛИЗ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПЛЕНОК ZnO:RE НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ МЕТОДОМ ТЕРМАНА

Victoria V. Malyutina-Bronskaya; Valery В. Zalesski; Tamara R. Leonova; Oleg A. Grebenschikov

Авторы

Victoria V. Malyutina-Bronskaya Малютина-Бронская Виктория Владимировна — м.н.с., Государственное научное учреждение «Институт физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси»; тел.: +375(17) 2813222, e-mail: v_malyutina@rambler.ru
Valery В. Zalesski Гребенщиков Олег Александрович — н.с., Государственное научное учреждение «Институт физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси»; тел.: +375(17) 2813229, e-mail: greben317@gmail.com
Tamara R. Leonova Леонова Тамара Романовна — н.с., Государственное научное учреждение «Институт физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси»; тел.: +375(17) 2813229, e-mail: leonova@ inel.bas-net.by
Oleg A. Grebenschikov Залесский Валерий Борисович — к.т.н., заведующий лабораторией, Государственное научное учреждение «Институт физики им. Б. И. Степанова НАН Беларуси»; тел.: +375(17) 2813229, e-mail: zalesski@inel.bas-net.by

Ключевые слова:

магнетронное распыление, вольт-фарадные характеристики, метод Термана, ZnO, поверхностные состояния.

Аннотация

Методом магнетронного распыления на постоянном токе получены пленки ZnO, легированные редкоземельными элементами (эрбием и европием), на кремниевых подложках. Сформированы МОП-структуры и измерены их высокочастотные вольт-фарадные характеристики. Для структур Al-Ni/ZnO:RE/Si методом Термана получены основные параметры и спектры плотности поверхностных состояний.