СТРУКТУРА, МИКРОМОРФОЛОГИЯ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ВОЛЬФРАМА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Аннотация

Исследованы структура, микроморфология и оптические характеристики толстых,
непрозрачных пленок вольфрама, нанесенных на подложки из кремния методом магнетрон-
ного распыления в режиме постоянного тока. По данным, полученным методом ДЭВЭО,
приповерхностный слой пленок — смесь аморфной и поликристаллической компонент. Кри-
сталлическая компонента отнесена к вольфраму, пространственная группа Im3m. Исследования
пленок методом РЭМ показали, что размеры неоднородностей на поверхности пленки состав-
ляют величину ~ 30 ÷ 300 нм, а толщина пленок ~ 400 нм. Методом спектральной эллипсоме-
трии определены дисперсионные зависимости показателя преломления, n(λ), и коэффициента
поглощения пленок вольфрама, k(λ), в диапазоне длин волн l = 250—1100 нм.