СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ ЖЕЛЕЗА И ТИТАНА, СФОРМИРОВАННЫХ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

Nikolay N. Afonin; Vera A. Logachova; Alexander M. Khoviv

Авторы

Nikolay N. Afonin Афонин Николай Николаевич — д.х.н., профессор, старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (473) 2208445, e-mail: nafonin@vspu.ac.ru
Vera A. Logachova Логачева Вера Алексеевна — к.х.н., ведущий научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (473) 2208445; e-mail: kcmf@vsu.ru
Alexander M. Khoviv Ховив Александр Михайлович — д. ф.-мат. н., д.х.н., профессор, Воронежский государственный университет; тел: (473) 2208445, e-mail: khoviv@vsu.ru

Ключевые слова:

пленки, магнетронное распыление, перераспределение компонентов, диффузия, нановолокна.

Аннотация

Послойным магнетронным распылением металлов на монокристаллический кремний с последующим вакуумным отжигом получены тонкие (~ 150 нм) пленки сложных оксидов железа и титана. Методами РФА и РЭМ установлены их состав и структура поверхности. При температуре вакуумного отжига Т = 1073 К формируются пленки с полупроводниковыми свойствами, содержащие на поверхности нановолокна диаметром до 16 нм. Пленки являются магнитооднофазными и характеризуются ферромагнитным сигналом при комнатной температуре. Методом РОР исследовано перераспределение компонентов в процессе синтеза и установлена глубокая диффузия железа и титана в кремний в условиях эксперимента.