INTERACTION OF COBALT AND TITANIUM WITH A THIN FILMS OF THEIR OXIDES DURING VACUUM ANNEALING
Keywords:
тонкие пленки, магнетронное распыление, вакуумный отжиг, диффузия, концентрационные распределения, оксиды титана и кобальта.Abstract
Исследованы пленочные системы кобальт — оксид титана и титан — оксид кобальта (толщиной ~ 200 нм), полученные магнетронным распылением металлов на кремниевую подложку с последующим термическим отжигом. Методами РОР, РФА и РЭМ установлено,
что при вакуумном отжиге системы Co-TiO2 диффузия кобальта в оксид титана носит реакционный характер и сопровождается встречной диффузией титана. При отжиге системы Ti-CoO титан проникает в оксид кобальта с формированием верхнего слоя сложного оксида CoTiO3
кубической структуры.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Downloads
Published
2013-09-27
Issue
Section
Статьи
How to Cite
INTERACTION OF COBALT AND TITANIUM WITH A THIN FILMS OF THEIR OXIDES DURING VACUUM ANNEALING. (2013). Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 15(3), 232-237. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/902
