SYNTHESIS AND PROPERTIES OF TITANIUM DIOXIDE THIN FILMS
Abstract
Методами рентгенофазового анализа (РФА) и абсорбционной спектроскопии исследован фазовый состав и оптические свойства пленок диоксида титана толщиной 150—200 нм, полученных магнетронным распылением с последующей термообработкой при T = 723 К
и Т = 1023 К в потоке кислорода, и пленок, сформированных в процессе вакуумного реактивного высокочастотного распыления (ВЧ-распыления). Установлено, что в процессе термооксидирования формируется пленка диоксида титана TiO2 со структурой рутила. В результате вакуумного реактивного высокочастотного распыления формируется пленка диоксида титана TiO2 со структурой анатаза. Обнаружено, что в спектральном диапазоне от 350 до 900 нм в оксидных пленках наблюдается высокое пропускание, а от 190 до 350 нм полоса поглощения. Анализ краевого поглощения показал, что полученное из спектров значение энергии прямого перехода
составляет: Еgd = 3.34 эВ (T = 723 К), Еgd = 3.47 эВ (T = 1023 К), Еgd = 3.70 эВ (ВЧ-распыление).
Downloads
References
2. Miao L., Jin P., Kaneko K., et al. // Materials Chemistry and Physics. 2009. V. 114. № 1. P. 217—226.
3. Tang H., Berger H., Schmid P. E., et al. // Solid State Commun. 1993. V. 87. P. 847.
4. Carp O., Huissman C. L., Reller A. // Progress Solid State Chem. 2004. V. 32. P. 33.
5. Matsumoto Y., Unal U., Tanaka N., et al. //. J. Solid State Chem. 2004. V. 177. P. 4205.
6. Wen C., Deng H., Tian J., et al. // Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2006. V. 16. P. 728—731.
7. Jin M., Nagaoka Y., Nishi K., et al. // Adsorption. 2008. V. 14. P. 257—263
8. Xiaohong W., Xianbo D., Wei Q. et al. // Journal of hazardous materials. 2006. V. 137. № 1. P. 192—197.
9. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.
