SYNTHESIS AND PROPERTIES OF TITANIUM DIOXIDE THIN FILMS
Keywords:
абсорбционная спектроскопия, магнетронное распыление, реактивное высокочастотное распыление (ВЧ-распыление), пленки диоксида титана.Abstract
Методами рентгенофазового анализа (РФА) и абсорбционной спектроскопии исследован фазовый состав и оптические свойства пленок диоксида титана толщиной 150—200 нм, полученных магнетронным распылением с последующей термообработкой при T = 723 К
и Т = 1023 К в потоке кислорода, и пленок, сформированных в процессе вакуумного реактивного высокочастотного распыления (ВЧ-распыления). Установлено, что в процессе термооксидирования формируется пленка диоксида титана TiO2 со структурой рутила. В результате вакуумного реактивного высокочастотного распыления формируется пленка диоксида титана TiO2 со структурой анатаза. Обнаружено, что в спектральном диапазоне от 350 до 900 нм в оксидных пленках наблюдается высокое пропускание, а от 190 до 350 нм полоса поглощения. Анализ краевого поглощения показал, что полученное из спектров значение энергии прямого перехода
составляет: Еgd = 3.34 эВ (T = 723 К), Еgd = 3.47 эВ (T = 1023 К), Еgd = 3.70 эВ (ВЧ-распыление).
