THE MUTUAL DIFFUSION OF IRON AND COPPER IN THIN FILMS AND PHASE COMPOSITION OF THEIR AFTER CONSISTENT SPUTTERING
Abstract
Изучен фазовый состав одно- и двухкомпонентных пленок системы «железо-медь» на кремниевой подложке. Получено и сопоставлено распределение концентраций элементов по глубине двухслойных пленок двух типов: тонкий слой меди на поверхности железной
пленки и тонкий слой железа на поверхности медной. Выявлено развитие диффузии атомов железа из нижнего слоя в верхний с вытеснением атомов меди.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. М.: Физматлит, 2007. 414 с.
2. Иевлев В. М. Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура. Воронеж: Издательско-полиграфический центр Воронежского государственного университета, 2008. 496 с.
3. Технология тонких пленок / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. М.: «Сов. радио», Т. 2. 1977. 329с.
4. Гольштейн М.И., Грачев С.В., Векслер Ю.Г. Специальные стали. М.: Металлургия, 1985. 408 с.
5. Рашников В. Ф., Морозов А. А., Урцев В. Н., Горностырев Ю. Н. // Сталь. 2007. № 2. С 104—106.
6. Silman G. I., Kamynin V. V., Tarasov A. A. // Metal Science and Heat Treatment. 2003. Vl. 45. №.7. Р. 1062.
7. Урцев В.Н., Мирзаев Д.А., Яковлева И.Л. // ФММ. 2007. № 5. С. 968—973.
8. Fujime S. // Japan J. Appl. Phys. 1966. V. 5 № 11. P. 1029.
9. Hori A. // Chem. And Eng. Rev. 1975. V. 7. № 6. P. 28. 10. Josell D., Cezairliyan A., Heerden D., Murray B. T. // International Journal Thermophysics. 1997. V. 18. №. 3. P. 761.
11. Табалов А. В., Березин В. М. // Изв. Челябинского научного центра, 2002. Вып. 3 (16). С. 36—38.
12. Салтыков С. Н., Харин А. Н., Ховив А. М. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2009. Т. 11. № 2. С. 147—151.
13. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
14. Вахтель В. М., Афонин Н. Н., Логачева В. А. и др. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. № 7. С. 33—36.
15. Салтыков С. Н., Максименко А. А., Ховив А. М. // Вестник ВГУ: серия: Химия. Биология. Фармация. 2009. № 2. С. 54—58.
16. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник в 3 томах / Под ред. Н. П. Лякишева. М.: Машиностроение. 1996.
2. Иевлев В. М. Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура. Воронеж: Издательско-полиграфический центр Воронежского государственного университета, 2008. 496 с.
3. Технология тонких пленок / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. М.: «Сов. радио», Т. 2. 1977. 329с.
4. Гольштейн М.И., Грачев С.В., Векслер Ю.Г. Специальные стали. М.: Металлургия, 1985. 408 с.
5. Рашников В. Ф., Морозов А. А., Урцев В. Н., Горностырев Ю. Н. // Сталь. 2007. № 2. С 104—106.
6. Silman G. I., Kamynin V. V., Tarasov A. A. // Metal Science and Heat Treatment. 2003. Vl. 45. №.7. Р. 1062.
7. Урцев В.Н., Мирзаев Д.А., Яковлева И.Л. // ФММ. 2007. № 5. С. 968—973.
8. Fujime S. // Japan J. Appl. Phys. 1966. V. 5 № 11. P. 1029.
9. Hori A. // Chem. And Eng. Rev. 1975. V. 7. № 6. P. 28. 10. Josell D., Cezairliyan A., Heerden D., Murray B. T. // International Journal Thermophysics. 1997. V. 18. №. 3. P. 761.
11. Табалов А. В., Березин В. М. // Изв. Челябинского научного центра, 2002. Вып. 3 (16). С. 36—38.
12. Салтыков С. Н., Харин А. Н., Ховив А. М. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2009. Т. 11. № 2. С. 147—151.
13. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
14. Вахтель В. М., Афонин Н. Н., Логачева В. А. и др. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. № 7. С. 33—36.
15. Салтыков С. Н., Максименко А. А., Ховив А. М. // Вестник ВГУ: серия: Химия. Биология. Фармация. 2009. № 2. С. 54—58.
16. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник в 3 томах / Под ред. Н. П. Лякишева. М.: Машиностроение. 1996.
Published
2010-02-22
How to Cite
Saltykov, S. N., & Khoviv, A. M. (2010). THE MUTUAL DIFFUSION OF IRON AND COPPER IN THIN FILMS AND PHASE COMPOSITION OF THEIR AFTER CONSISTENT SPUTTERING. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 12(1), 61-65. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1098
Issue
Section
Статьи
