SYNTHESIS OF THIN FILMS OF CuInSe2 BY MAGNETRON SPUTTERING AND THEIR PROPERTIES
Abstract
Тонкие пленки трехкомпонентного полупроводникового соединения CuInSe2 (CIS) были синтезированы методом магнетронного распыления предварительно подготовленной мишени материала системы Cu — In — Se. Проведено исследование фазового состава, опти-
ческих свойств и электропроводности в зависимости от температуры отжига. Показано, что в полученных пленках поглощение света происходит за счет прямых разрешенных межзонных переходов. Определенны значения энергии прямого перехода, показана положительная зависимость проводимости от температуры отжига тонких пленок.
Downloads
References
1. Liu, H.-J. , Wang, L., Yang, D.-R., et al. // J. of Synthetic Crystals. 2010. V. 39. № 3. P. 573—577.
2. Klaer, Reiner Klenka, Hans-Werner Schock. // Thin Solid Films.2007. V. 515. № 15. P. 5929—5933.
3. Schok H. W., Shah A. // 14 European Photovoltaic Solar Energy Conf: Proceeding of the conference. Barcelona (Spain), 1997. P. 2000—2005.
4. Baetzner D. L., Romeo A., Zogg H., Tiwari A. N. // Proceedings of 29th IEEE Photovoltaic Special Conference (Glasgow, UK), 2000. P. 2100.
5. Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.
6. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
7. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004.
2. Klaer, Reiner Klenka, Hans-Werner Schock. // Thin Solid Films.2007. V. 515. № 15. P. 5929—5933.
3. Schok H. W., Shah A. // 14 European Photovoltaic Solar Energy Conf: Proceeding of the conference. Barcelona (Spain), 1997. P. 2000—2005.
4. Baetzner D. L., Romeo A., Zogg H., Tiwari A. N. // Proceedings of 29th IEEE Photovoltaic Special Conference (Glasgow, UK), 2000. P. 2100.
5. Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.
6. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
7. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. М.: Техносфера, 2004.
Published
2010-12-16
How to Cite
Gerasimenko, Y. V., Maksimenko, A. A., Saltykov, S. N., Kharin, A. N., Khoviv, D. A., & KhovivA. М. (2010). SYNTHESIS OF THIN FILMS OF CuInSe2 BY MAGNETRON SPUTTERING AND THEIR PROPERTIES. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 12(4), 355-359. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1133
Issue
Section
Статьи
