СИНТЕЗ И МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЖНОГО ОКСИДА TiNbO4

Dmitry A. Hoviv; Natalia A. Divakova; Alexey N. Kharin

Authors

Dmitry A. Hoviv senior scientifi c employee of Technopark VSU, tel.: 4732)276303; e-mail: dkhoviv@inbox.ru
Natalia A. Divakova senior scientifi c employee of Technopark VSU, tel.: 4732)276303; e-mail: dkhoviv@ inbox.ru
Alexey N. Kharin director of the Center of Collective using the scientifi c equipment VSU; tel: (4732)207548; email: a_kharin@mail.ru

Keywords:

тонкие пленки, титан, ниобий, оксиды, ренгенофазовый анализ, ниобат титана.

Abstract

В работе изучен процесс формирования сложного оксида TiNbO4 в тонкопленочном состоянии на подложке из монокристаллического кремния в условиях взаимодействия пары металл-оксид при фотонном отжиге в вакууме. Представлены данные рентгенофазового
анализа и предложена модель формирования оксида сложного состава TiNbO4.