SYNTHESIS CONDITIONS AND FORMATION MECHANISM OF OXIDE COMPLEX TiNbO4

  • Dmitry A. Hoviv senior scientifi c employee of Technopark VSU, tel.: 4732)276303; e-mail: dkhoviv@inbox.ru
  • Natalia A. Divakova senior scientifi c employee of Technopark VSU, tel.: 4732)276303; e-mail: dkhoviv@ inbox.ru
  • Alexey N. Kharin director of the Center of Collective using the scientifi c equipment VSU; tel: (4732)207548; email: a_kharin@mail.ru

Abstract

В работе изучен процесс формирования сложного оксида TiNbO4 в тонкопленочном состоянии на подложке из монокристаллического кремния в условиях взаимодействия пары металл-оксид при фотонном отжиге в вакууме. Представлены данные рентгенофазового
анализа и предложена модель формирования оксида сложного состава TiNbO4.

Downloads

Download data is not yet available.

References

1. Yuji T., Akatsuka H., Mungkung N., et al. // Vacuum. 2008. V. 83. № 1. 4. P. 124—127.
2. Rechid J., Kampmann A., Reineke-Koch R. // Thin Solid Films. 2000. V. 361—362. Р. 198—202.
3. US Patent 7580594, 08/25/2009. Kyriaki E.K., Xenophon E. V. // J. Phys. Chem. 1993. № 97(6). Р. 1184—1189.
4. US Patent Publication 10—316,429.
5. Ховив А. М., Ховив Д. А. и др. // Изв. РАН. Сер. Физическая. 2008. Т. 72, № 4. С. 542—546.
Published
2010-06-29
How to Cite
Hoviv, D. A., Divakova, N. A., & Kharin, A. N. (2010). SYNTHESIS CONDITIONS AND FORMATION MECHANISM OF OXIDE COMPLEX TiNbO4. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 12(2), 173-176. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1114
Section
Статьи