PHASE COMPOSITION EVOLUTION OF DOUBLE LAYER TiO2/Nb2O5/Si STRUCTURE DURING VACUUM ANNEALING
Abstract
Изучена эволюция фазового состава двухслойной тонкопленочной структуры оксида титана и оксида ниобия на подложке монокристаллического кремния. Показано, что процесс формирования сложного оксида происходит при охлаждении системы, нагретой до
температуры 1100 °C. Представлены результаты in situ измерений в вакуумной камере дифрактометра в процессе нагрева.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Ховив А. М., Ховив Д. А. и др. // Изв. РАН. Сер. Физическая. 2008. Т. 72. № 4. С. 542—546.
2. Ховив А. М., Малевская Л. А. // Журн. Физической химии. 1995. Т. 69. № 2. С. 344
3. Ховив А. М., Сидоркин А. С. // Физика твердого тела. 1995. Т. 37. № 8. С. 2520.
4. Ховив А. М., Назаренко И. Н. // Неорган. Материалы. 2000. Т. 36. № 2. С. 135.
2. Ховив А. М., Малевская Л. А. // Журн. Физической химии. 1995. Т. 69. № 2. С. 344
3. Ховив А. М., Сидоркин А. С. // Физика твердого тела. 1995. Т. 37. № 8. С. 2520.
4. Ховив А. М., Назаренко И. Н. // Неорган. Материалы. 2000. Т. 36. № 2. С. 135.
Published
2010-12-16
How to Cite
Khoviv, D. A., Divakova, N. A., & Zaytsev, S. V. (2010). PHASE COMPOSITION EVOLUTION OF DOUBLE LAYER TiO2/Nb2O5/Si STRUCTURE DURING VACUUM ANNEALING. Condensed Matter and Interphases, 12(4), 400-402. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1140
Issue
Section
Статьи
