ЭВОЛЮЦИЯ ФАЗОВОГО СОСТАВА ДВУХСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ TiO2/Nb2O5/Si ПРИ ВАКУУМНОМ ТЕРМИЧЕСКОМ ОТЖИГЕ

Dmitry A. Khoviv; Natalia A. Divakova; Sergey V. Zaytsev

Авторы

Dmitry A. Khoviv Ховив Дмитрий Александрович — к.ф.-м.н., старший научный сотрудник кафедры материаловедения и инду- стрии наносистем, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
Natalia A. Divakova Дивакова Наталья Александровна — к.х.н., старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государ- ственного университета; тел.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
Sergey V. Zaytsev Зайцев Сергей Витальевич — аспирант кафедры общей и неорганической химии Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 276303

Ключевые слова:

тонкие пленки, оксид титана, оксид ниобия, дифрактометрия, вакуумный отжиг.

Аннотация

Изучена эволюция фазового состава двухслойной тонкопленочной структуры оксида титана и оксида ниобия на подложке монокристаллического кремния. Показано, что процесс формирования сложного оксида происходит при охлаждении системы, нагретой до
температуры 1100 °C. Представлены результаты in situ измерений в вакуумной камере дифрактометра в процессе нагрева.