THE INFLUENCE OF IRON FILM STRUCTURE ON SILICON SUBSTARE (100) ON RESISTANCE
Abstract
Изучено строение пленок железа в интервале толщин от 20 до 270 нм, полученных магнетронным напылением на монокристаллической кремниевой подложке, и показана их глобулярная структура, в которой глобула представляет собой конгломерат зерен. Определены
средние размеры глобул и зерен и показано, что присутствие кислорода в пленке приводит к увеличению их размеров. Измерено электросопротивление пленок и выявлена его зависимость от толщины. Сделано предположение о доминирующей роли общей протяженности межзеренных границ и установлено, что изменение ее величины с толщиной и влияние на электросопротивление могут быть оценены отношением средних диаметров глобул и зерен.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Schloemann E., Tuistion R., Weissman J., et al. // J. Appl. Phys. 1988. V. 63(8). P. 3140—3142.
2. Chen S. Tsai, Jun Su, Chin. C. Lee // IEEE Tsans. On Magn. 1999. V. 35. № 5. P. 3178—3180.
3. Wolf S. A., Treger D. //IEEE Transaction on Magnetics. 2000. V. 36. № 5. P. 2748—2751.
4. Gubbiotti G., Carlotti G., D’Orazio F., et al. // Surface Science 2000. V. 454—456. P. 891—895.
5. Xiaofang B., Shengkai G., Huibin X., et al. // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2002. V. 241. P. 157—161.
6. Антонец И. В., Голубев Е. А., Котов Л. Н. // Поверхность. рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2007. № 8. С. 65—71.
7. Антонец И. В., Котов Л. И., Некипелов С. В. и др. // Радиотехн. и электрон. 2004. № 10. С. 1243—1250.
8. Антонец И. В., Котов Л. Н., Некипелов С. В. и др. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 11. С. 102—106.
9. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
10. Sadashivaiah P. J., Sankarappa T., Sujatha T., et al. // Vacuum. 2010. V. 85. P. 466—473.
11. Афонин Н. Н., Логачева В. А., Шрамченко Ю. С. и др.// Журнал неорганической химии. 2011. Т. 56. № 5. С. 821—825.
12. Афонин Н. Н., Логачева В. А., Ховив А.М. и др. // Неорганические материалы. 2009. Т. 45. № 9. С. 1074—1078.
13. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник в трех томах / под ред. Н.П. Лякишева. 1996.
14. Pekala K., Pekala M. // Nanostruct. Mater. 1995. V. 6. № 5—8. P. 819—822.
15. Xuesong J., Huibin X, Shengkai G. // SCIENCE IN CHINA (Series E). 2001. V. 44. P. 83—88.
2. Chen S. Tsai, Jun Su, Chin. C. Lee // IEEE Tsans. On Magn. 1999. V. 35. № 5. P. 3178—3180.
3. Wolf S. A., Treger D. //IEEE Transaction on Magnetics. 2000. V. 36. № 5. P. 2748—2751.
4. Gubbiotti G., Carlotti G., D’Orazio F., et al. // Surface Science 2000. V. 454—456. P. 891—895.
5. Xiaofang B., Shengkai G., Huibin X., et al. // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2002. V. 241. P. 157—161.
6. Антонец И. В., Голубев Е. А., Котов Л. Н. // Поверхность. рентген., синхротрон. и нейтрон. исследования. 2007. № 8. С. 65—71.
7. Антонец И. В., Котов Л. И., Некипелов С. В. и др. // Радиотехн. и электрон. 2004. № 10. С. 1243—1250.
8. Антонец И. В., Котов Л. Н., Некипелов С. В. и др. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 11. С. 102—106.
9. PDF-2/Release 2007 RDB 2.0704.
10. Sadashivaiah P. J., Sankarappa T., Sujatha T., et al. // Vacuum. 2010. V. 85. P. 466—473.
11. Афонин Н. Н., Логачева В. А., Шрамченко Ю. С. и др.// Журнал неорганической химии. 2011. Т. 56. № 5. С. 821—825.
12. Афонин Н. Н., Логачева В. А., Ховив А.М. и др. // Неорганические материалы. 2009. Т. 45. № 9. С. 1074—1078.
13. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Справочник в трех томах / под ред. Н.П. Лякишева. 1996.
14. Pekala K., Pekala M. // Nanostruct. Mater. 1995. V. 6. № 5—8. P. 819—822.
15. Xuesong J., Huibin X, Shengkai G. // SCIENCE IN CHINA (Series E). 2001. V. 44. P. 83—88.
Published
2012-03-01
How to Cite
Saltykov, S. N. (2012). THE INFLUENCE OF IRON FILM STRUCTURE ON SILICON SUBSTARE (100) ON RESISTANCE. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 14(1), 77-83. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/950
Issue
Section
Статьи
