ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНАТА ЖЕЛЕЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ (Ar + O2) СОСТАВНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ Fe — Ti

Vera A. Logachova; Elena V. Babushkina; Yuliya V. Gerasimenko; Alexander A. Maksimenko; Nikolay N. Afonin; Alexander М. Khoviv

Authors

Vera A. Logachova PhD (chemistry), leading scientifi c employee of Technopark, Voronezh State University; tel: (4732) 208445, e-mail: kcmf@vsu.ru
Elena V. Babushkina PhD (physical and mathematical sciences), senior lecturer of chair «General and Inorganic Chemistry», Voronezh State University; tel: (4732) 208445, e-mail: lena@phys.vsu.ru
Yuliya V. Gerasimenko PhD (physical and mathematical sciences), senior scientifi c employee of chair «General and Inorganic Chemistry», Voronezh State University; tel: (4732) 208445, e-mail: yuliya-gerasimenko@yandex. ru
Alexander A. Maksimenko PhD (physical and mathematical sciences), senior scientifi c employee of Technopark, Voronezh State University; tel: (4732) 276303, email: maximencoalex@mail.ru
Nikolay N. Afonin grand PhD (chemistry), senior scientifi c employee of Technopark, Voronezh State University; tel: (4732) 208445, e-mail: nafonin@vspu.ac.ru
Alexander М. Khoviv grand PhD, professor, fi rst pro-rector, Voronezh State University; tel.: (4732) 772633, e-mail: khoviv@vsu.ru

Keywords:

магнетронное распыление, пленки титаната железа, атомно-силовая микро- скопия, обратное резерфордовское рассеяние.

Abstract

Методом реактивного магнетронного распыления составных металлических мишеней (Fe — Ti) в плазме (Ar + O2) синтезированы пленки титаната железа. Исследованием методами рентгенофазового анализа, резерфордовского обратного рассеяния и атомно-силовой микроскопии установлено влияние парциального давления кислорода на структуру и фазовый состав оксидных пленок. Показано, что при содержании кислорода до 35 % формируются пленки с атомарно гладкой поверхностью и резкой границей раздела пленка-подложка толщиной ~ 100 нм, состоящие из Fe2TiO4 в структуре шпинели и оксидов титана Ti3O5. Предложенная методика позволяет формировать пленки с размерами зерен 1—2 нм и регулярными порами размером ~ 3 нм.