ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНАТА ЖЕЛЕЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ (Ar + O2) СОСТАВНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ Fe — Ti

Vera A. Logachova; Elena V. Babushkina; Yuliya V. Gerasimenko; Alexander A. Maksimenko; Nikolay N. Afonin; Alexander М. Khoviv

Авторы

Vera A. Logachova Логачева Вера Алексеевна — к.х.н., ведущий научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208445, e-mail: kcmf@vsu.ru
Elena V. Babushkina Бабушкина Елена Владимировна — к.ф.-м.н., доцент кафедры общей и неорганической химии Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208445, e-mail: lena@phys.vsu.ru
Yuliya V. Gerasimenko Герасименко Юлия Владимировна — к.ф.-м.н., старший научный сотрудник кафедры общей и неорганиче- ской химии Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208445, e-mail: yuliya-gerasimenko@ yandex.ru
Alexander A. Maksimenko Максименко Александр Александрович — к.ф.-м.н., старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 276303, email: maximencoalex@mail.ru
Nikolay N. Afonin Афонин Николай Николаевич — д.х.н., профессор, старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 208445, email: nafonin@vspu.ac.ru
Alexander М. Khoviv Ховив Александр Михайлович — д.ф.-м.н., д.х.н., профессор, первый проректор Воронежского государственного университета; тел: (4732) 772633, e-mail: khoviv@vsu.ru

Ключевые слова:

магнетронное распыление, пленки титаната железа, атомно-силовая микро- скопия, обратное резерфордовское рассеяние.

Аннотация

Методом реактивного магнетронного распыления составных металлических мишеней (Fe — Ti) в плазме (Ar + O2) синтезированы пленки титаната железа. Исследованием методами рентгенофазового анализа, резерфордовского обратного рассеяния и атомно-силовой микроскопии установлено влияние парциального давления кислорода на структуру и фазовый состав оксидных пленок. Показано, что при содержании кислорода до 35 % формируются пленки с атомарно гладкой поверхностью и резкой границей раздела пленка-подложка толщиной ~ 100 нм, состоящие из Fe2TiO4 в структуре шпинели и оксидов титана Ti3O5. Предложенная методика позволяет формировать пленки с размерами зерен 1—2 нм и регулярными порами размером ~ 3 нм.