СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex
Ключевые слова:
кремний, германий, изовалентная примесь, распад твердого раствора, оптическая ширина запрещенной зоны, удельная проводимость, плотность локализованных состоянийАннотация
Исследованы структура, оптические и электрические характеристики пленок на основе твердых растворов Si1-xGex (х≤0.18), полученных методом магнетронного распыления, до и после термических обработок в разных режимах быстрого и изотермического отжигов. Полученные пленки имеют оптическую ширину запрещенной зоны, которая меняется в пределах 1.45 ÷1.72 эВ в интервале концентраций Ge х=0.01÷0.11. Диапазон изменения удельной проводимости пленок составляет 10-10÷10-3 Ом-1·см-1.
Скачивания
Данные по скачиваниям пока не доступны.
Библиографические ссылки
Загрузки
Опубликован
2015-05-28
Выпуск
Раздел
Статьи
Как цитировать
СТРУКТУРА, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ Si1–xGex. (2015). Конденсированные среды и межфазные границы, 17(2), 240-248. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/68
