ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ КОБАЛЬТА И ТИТАНА С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ ИХ ОКСИДОВ В ПРОЦЕССЕ ВАКУУМНОГО ОТЖИГА

Nikolay N. Afonin; Vera A. Logachova; Yuliya V. Gerasimenko; Emma A. Dolgopolova; Aleksander M. Khoviv

Авторы

Nikolay N. Afonin Афонин Николай Николаевич — д. х. н., профессор, старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государственного университета; тел.: (473) 2208445, e-mail: nafonin@vspu.ac.ru
Vera A. Logachova Логачева Вера Алексеевна — к. х. н., ведущий научный сотрудник Технопарка Воронежского государ- ственного университета; тел.: (4732) 208445; e-mail: kcmf@vsu.ru
Yuliya V. Gerasimenko Герасименко Юлия Владимировна — к. ф.-м. н., старший научный сотрудник, Воронежский государ- ственный университет; тел.: (4732) 208445, e-mail: yuliya-gerasimenko@yandex.ru
Emma A. Dolgopolova Долгополова Эмма Александровна — к. х. н., стар- ший научный сотрудник, Воронежский государственный университет; тел.: (910) 2470931, e-mail: emma@phys. vsu.ru
Aleksander M. Khoviv Ховив Александр Михайлович — д. ф. -м. н., д. х. н., профессор, Воронежский государственный университет; тел: (4732) 208445, e-mail: khoviv@vsu.ru

Ключевые слова:

тонкие пленки, магнетронное распыление, вакуумный отжиг, диффузия, концентрационные распределения, оксиды титана и кобальта.

Аннотация

Исследованы пленочные системы кобальт — оксид титана и титан — оксид кобальта (толщиной ~ 200 нм), полученные магнетронным распылением металлов на кремниевую подложку с последующим термическим отжигом. Методами РОР, РФА и РЭМ установлено,
что при вакуумном отжиге системы Co-TiO2 диффузия кобальта в оксид титана носит реакционный характер и сопровождается встречной диффузией титана. При отжиге системы Ti-CoO титан проникает в оксид кобальта с формированием верхнего слоя сложного оксида CoTiO3
кубической структуры.