СИНТЕЗ И МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЖНОГО ОКСИДА TiNbO4
Ключевые слова:
тонкие пленки, титан, ниобий, оксиды, ренгенофазовый анализ, ниобат титана.
Аннотация
В работе изучен процесс формирования сложного оксида TiNbO4 в тонкопленочном состоянии на подложке из монокристаллического кремния в условиях взаимодействия пары металл-оксид при фотонном отжиге в вакууме. Представлены данные рентгенофазового
анализа и предложена модель формирования оксида сложного состава TiNbO4.
Скачивания
Литература
1. Yuji T., Akatsuka H., Mungkung N., et al. // Vacuum. 2008. V. 83. № 1. 4. P. 124—127.
2. Rechid J., Kampmann A., Reineke-Koch R. // Thin Solid Films. 2000. V. 361—362. Р. 198—202.
3. US Patent 7580594, 08/25/2009. Kyriaki E.K., Xenophon E. V. // J. Phys. Chem. 1993. № 97(6). Р. 1184—1189.
4. US Patent Publication 10—316,429.
5. Ховив А. М., Ховив Д. А. и др. // Изв. РАН. Сер. Физическая. 2008. Т. 72, № 4. С. 542—546.
2. Rechid J., Kampmann A., Reineke-Koch R. // Thin Solid Films. 2000. V. 361—362. Р. 198—202.
3. US Patent 7580594, 08/25/2009. Kyriaki E.K., Xenophon E. V. // J. Phys. Chem. 1993. № 97(6). Р. 1184—1189.
4. US Patent Publication 10—316,429.
5. Ховив А. М., Ховив Д. А. и др. // Изв. РАН. Сер. Физическая. 2008. Т. 72, № 4. С. 542—546.
Опубликован
2010-06-29
Как цитировать
Hoviv, D. A., Divakova, N. A., & Kharin, A. N. (2010). СИНТЕЗ И МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЖНОГО ОКСИДА TiNbO4. Конденсированные среды и межфазные границы, 12(2), 173-176. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1114
Выпуск
Раздел
Статьи
