МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЕЙ ПРИ ЗОНДОВЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ В АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНКАХ
Ключевые слова:
анизотропный полупроводник, пленка, распределение потенциала, электро- проводность, сопротивления растекания, зонд.
Аннотация
Выполнено исследование распределения потенциала электрического тока в случае зондовых измерений на анизотропных полупроводниковых пластинах и пленках. Получены выражения для распределений потенциала, позволяющие определять область локализации поля зонда сканирующего микроскопа в случае исследования анизотропной пленки. Показано влияние размеров и электропроводности на изменение сопротивления растекания зонда в ограниченных пленках.
Скачивания
Данные скачивания пока не доступны.
Литература
1. Драгунов В. П., Неизвестный И. Г., Гридчин В. А. Основы наноэлектроники. М.: Логос, 2006. 494 c.
2. Ando T., Fowler A. B., Stern F. // Reviews of Modern Physics. 1982. V. 54. №. 2. P. 437—672.
3. Филиппов В. В., Власов А. Н., Бормонтов Е. Н. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 12. № 3. С. 282—287.
4. Неволин В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике. М.: Техносфера, 2006. 160 с.
5. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. М.: Техносфера, 2004. 384 с.
6. Най Дж. Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц. М.: Мир, 1967. 386 с.
7. Джексон Дж. Классическая электродинамика. М.: Мир, 1965. 700 с.
8. Поляков Н. Н., Коньков В. Л. // Известия вузов. Физика. 1970. № 9. С. 100—105.
9. Батавин В. В., Концевой Ю. А., Федорович Ю. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур. М.: Радио и связь, 1985. 263 с.
10. Филиппов В. В. // Приборы и техника эксперимента. 2007. № 4 С. 136—139.
11. Погосов В. В. Введение в физику зарядов и размерных эффектов. Поверхность, кластеры, наноразмерные системы. М.: Физматлит, 2006. 164 с.
2. Ando T., Fowler A. B., Stern F. // Reviews of Modern Physics. 1982. V. 54. №. 2. P. 437—672.
3. Филиппов В. В., Власов А. Н., Бормонтов Е. Н. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 12. № 3. С. 282—287.
4. Неволин В. К. Зондовые нанотехнологии в электронике. М.: Техносфера, 2006. 160 с.
5. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. М.: Техносфера, 2004. 384 с.
6. Най Дж. Физические свойства кристаллов и их описание при помощи тензоров и матриц. М.: Мир, 1967. 386 с.
7. Джексон Дж. Классическая электродинамика. М.: Мир, 1965. 700 с.
8. Поляков Н. Н., Коньков В. Л. // Известия вузов. Физика. 1970. № 9. С. 100—105.
9. Батавин В. В., Концевой Ю. А., Федорович Ю. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур. М.: Радио и связь, 1985. 263 с.
10. Филиппов В. В. // Приборы и техника эксперимента. 2007. № 4 С. 136—139.
11. Погосов В. В. Введение в физику зарядов и размерных эффектов. Поверхность, кластеры, наноразмерные системы. М.: Физматлит, 2006. 164 с.
Опубликован
2011-12-08
Как цитировать
Filippov, V. V., Vlasov, A. N., & Bormontov, E. N. (2011). МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЕЙ ПРИ ЗОНДОВЫХ ИЗМЕРЕНИЯХ В АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНКАХ. Конденсированные среды и межфазные границы, 13(4), 499-503. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1085
Выпуск
Раздел
Статьи
