ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНАТА ЖЕЛЕЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ (Ar + O2) СОСТАВНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ Fe — Ti
Ключевые слова:
магнетронное распыление, пленки титаната железа, атомно-силовая микро- скопия, обратное резерфордовское рассеяние.
Аннотация
Методом реактивного магнетронного распыления составных металлических мишеней (Fe — Ti) в плазме (Ar + O2) синтезированы пленки титаната железа. Исследованием методами рентгенофазового анализа, резерфордовского обратного рассеяния и атомно-силовой микроскопии установлено влияние парциального давления кислорода на структуру и фазовый состав оксидных пленок. Показано, что при содержании кислорода до 35 % формируются пленки с атомарно гладкой поверхностью и резкой границей раздела пленка-подложка толщиной ~ 100 нм, состоящие из Fe2TiO4 в структуре шпинели и оксидов титана Ti3O5. Предложенная методика позволяет формировать пленки с размерами зерен 1—2 нм и регулярными порами размером ~ 3 нм.
Скачивания
Данные скачивания пока не доступны.
Литература
1. Ramesh R., Spaldin N. A. // Nature Materials. 2007. V. 6. P. 21—29.
2. Varga T., Kumar A., Vlahos E., et al. // Physical Review Letters . 2009. V. 103. P. 047601.
3. Fujii T., Kayano M., Takada Y., et al. // 2004. V. 272—276. Part 3. P. 2010—2011.
4. Ginley D. S., Butler M. A. // J. Appl. Phys. 1977. V. 48. P. 2019.
5. Hojo H., Fujita K., Tanaka K., et al. // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 89. P. 142503.
6. Woochul Kim, Sung Wook Hyun, Dong Gyun You, et al. // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 2008. V. 320. № 20. P. e853—e856.
7. Комаров Ф. Ф. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск.: Университетское, 1987. 256 с.
8. Sandrik R., Kobzev A. P., Shirokov D. V., Kliment V. // Physics Research B. 1993. V. 75. P. 392—396.
9. Вахтель В. М., Афонин Н. Н., Логачева В. А. и др. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. № 7. С. 33—36.
2. Varga T., Kumar A., Vlahos E., et al. // Physical Review Letters . 2009. V. 103. P. 047601.
3. Fujii T., Kayano M., Takada Y., et al. // 2004. V. 272—276. Part 3. P. 2010—2011.
4. Ginley D. S., Butler M. A. // J. Appl. Phys. 1977. V. 48. P. 2019.
5. Hojo H., Fujita K., Tanaka K., et al. // Appl. Phys. Lett. 2006. V. 89. P. 142503.
6. Woochul Kim, Sung Wook Hyun, Dong Gyun You, et al. // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 2008. V. 320. № 20. P. e853—e856.
7. Комаров Ф. Ф. Неразрушающий анализ поверхностей твердых тел ионными пучками. Минск.: Университетское, 1987. 256 с.
8. Sandrik R., Kobzev A. P., Shirokov D. V., Kliment V. // Physics Research B. 1993. V. 75. P. 392—396.
9. Вахтель В. М., Афонин Н. Н., Логачева В. А. и др. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2008. Т. 74. № 7. С. 33—36.
Опубликован
2010-12-16
Как цитировать
Logachova, V. A., Babushkina, E. V., Gerasimenko, Y. V., Maksimenko, A. A., Afonin, N. N., & KhovivA. М. (2010). ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТИТАНАТА ЖЕЛЕЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ В ПЛАЗМЕ (Ar + O2) СОСТАВНЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИШЕНЕЙ Fe — Ti. Конденсированные среды и межфазные границы, 12(4), 375-381. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1136
Выпуск
Раздел
Статьи
