ЭВОЛЮЦИЯ ФАЗОВОГО СОСТАВА ДВУХСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ TiO2/Nb2O5/Si ПРИ ВАКУУМНОМ ТЕРМИЧЕСКОМ ОТЖИГЕ

  • Dmitry A. Khoviv Ховив Дмитрий Александрович — к.ф.-м.н., старший научный сотрудник кафедры материаловедения и инду- стрии наносистем, Воронежский государственный университет; тел.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
  • Natalia A. Divakova Дивакова Наталья Александровна — к.х.н., старший научный сотрудник Технопарка Воронежского государ- ственного университета; тел.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
  • Sergey V. Zaytsev Зайцев Сергей Витальевич — аспирант кафедры общей и неорганической химии Воронежского государственного университета; тел.: (4732) 276303
Ключевые слова: тонкие пленки, оксид титана, оксид ниобия, дифрактометрия, вакуумный отжиг.

Аннотация

Изучена эволюция фазового состава двухслойной тонкопленочной структуры оксида титана и оксида ниобия на подложке монокристаллического кремния. Показано, что процесс формирования сложного оксида происходит при охлаждении системы, нагретой до
температуры 1100 °C. Представлены результаты in situ измерений в вакуумной камере дифрактометра в процессе нагрева.

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.

Литература

1. Ховив А. М., Ховив Д. А. и др. // Изв. РАН. Сер. Физическая. 2008. Т. 72. № 4. С. 542—546.
2. Ховив А. М., Малевская Л. А. // Журн. Физической химии. 1995. Т. 69. № 2. С. 344
3. Ховив А. М., Сидоркин А. С. // Физика твердого тела. 1995. Т. 37. № 8. С. 2520.
4. Ховив А. М., Назаренко И. Н. // Неорган. Материалы. 2000. Т. 36. № 2. С. 135.
Опубликован
2010-12-16
Как цитировать
Khoviv, D. A., Divakova, N. A., & Zaytsev, S. V. (2010). ЭВОЛЮЦИЯ ФАЗОВОГО СОСТАВА ДВУХСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ TiO2/Nb2O5/Si ПРИ ВАКУУМНОМ ТЕРМИЧЕСКОМ ОТЖИГЕ. Конденсированные среды и межфазные границы, 12(4), 400-402. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1140
Выпуск
Том 12 № 4 (2010)
Раздел
Статьи

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)