НЕЛИНЕЙНЫЕ ЭФФЕКТЫ СОВМЕСТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ ОКСИДОВ р- И d-ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ СОЗДАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ GaAs И InP ОБЗОР

  • Victor F. Kostryukov Кострюков Виктор Федорович – д. х. н., доцент, доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7 (473) 2208356; e-mail: vc@chem.vsu.ru
  • Irina Y. Mittova Миттова Ирина Яковлевна – д. х. н., профессор, профессор кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7 (473) 2208356, e-mail: imittova@mail.ru
  • Elena V. Tominа Томина Елена Викторовна – д. х. н., доцент, доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208356; e-mail: tomina-e-v@yandex.ru
  • Boris V. Sladkopevtsev Сладкопевцев Борис Владимирович – к. х. н., доцент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208356; e-mail:dp-kmins@yandex.ru
  • Anna S. Parshina Паршина Анна Сергеевна – студент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7(473) 2208356; e-mail: anyuta_parshina@mail.ru
  • Dar'ya S. Balasheva Балашева Дарья Степановна – студент кафедры материаловедения и индустрии наносистем, Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия; тел.: +7 (473) 2208356; e-mail: balasheva.98@mail.ru

Аннотация

Рассмотрен процесс термооксидирования арсенида галлия и фосфида индия под воздействием бинарных оксидных композиций (хемостимулятор+хемостимулятор и хемостимулятор+инертный компонент). Установлены и интерпретированы нелинейные эффекты зависимости толщины оксидной пленки на поверхности GaAs и InP от состава композиции оксидов-хемостиуляторов. Доказана возможность получения аддитивной во всем интервале составов зависимости толщины оксидной пленки на поверхности GaAs от состава при использовании композиций оксид-хемостимулятор+инертный компонент. Установлена пространственная локализация связывающих взаимодействий между оксидами-хемостимуляторами, которые приводят к наблюдаемым нелинейным эффектам. Синтезированные таким способом тонкие пленки на поверхности GaAs и InP обладают улучшенными электрофизическими свойствами и проявляют газочувствительный отклик в атмосфере газов-восстановителей.

 

Результаты исследований получены на оборудовании Центра коллективного пользования Воронежского государственного университета. URL:http://ckp.vsu.ru

Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № №18-03-00354_а

Скачивания

Данные скачивания пока не доступны.

Литература

1. Mittova I. Ya., Vasil’eva V. V., Terehov V. A. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1988, vol. 24, no. 12, pp. 1941–1944. (in Russ.)
2. Mittova I. Ya., Sviridova V. V., Semenov V. N., Terekhov V. A. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1989, vol. 25, no. 6, pp. 908–911. (in Russ.)
3. Mittova I. Ya., Sviridova V. V., Fetisova S. V. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie Materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1992, vol. 28, no. 9, pp. 1829–1832. (in Russ.)
4. Mittova I. Ya., Sviridova V. V., Fetisova S. V. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie Materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1990, vol. 26, no. 10, pp. 2013–2016. (in Russ.)
5. Mittova I. Ya., Sviridova V. V., Fetisova S. V. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie Materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1991, vol. 27, no. 12, pp. 2488–2490. (in Russ.)
6. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Malyshev O. M. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie Materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1992, vol. 28, no. 5, pp. 2041–2044. (in Russ.)
7. Mittova I. Ya., Sviridova V. V., Koljukaeva I. A. Izvestija AN SSSR. Serija Neorganicheskie Materialy [News of the Academy of Sciences of the USSR. Series Inorganic Materials], 1989, vol. 25, no. 12, pp. 1954–1958. (in Russ.)
8. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Soshnikov V. V. Doklady chemistry [Reports of the Russian Academy of Sciences], 1997, vol. 354, no. 3, pp. 343–345. (in Russ.)
9. Mittova I. Ya., Soshnikov V. V., Kashkarov V. M., Pshestanchik V. R. Neorganicheskie Materialy [Inorganic Materials], 1999, vol. 35, no. 1, pp. 13–16. (in Russ.)
10. Mittova I. Ya. Vestnik VGU. Serija: Himija, biologija [Bulletin of the VSU. Series: Chemistry, Biology], 2000, no. 2, pp. 5–12. (in Russ.)
11. Mittova I. Ya. Inorganic Materials, 2014, vol. 50, no. 9, pp. 874–881. DOI: https://doi.org/10.1134/S0020168514090088
12. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F. Doklady chemistry [Reports of the Russian Academy of Sciences], 1996, vol. 349, no. 5, pp. 641–643. (in Russ.)
13. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F., Konstantinov A. E. Poverhnost' [Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques], 1996, no. 8, pp. 17–22. (in Russ.)
14. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F. Russian Jjournal of Inorganic Chemistry, 1997, vol. 42, no. 2, pp. 182–186. (in Russ.)
15. Mittova I. Ya., Kostryukov V. F., Pshestanchik V. R., Kashkarov V. M., Prokin A. N. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2001, vol. 46, no. 5, pp. 723–727.
16. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F. Doklady Chemistry, 2001, vol. 378, no. 4-6, pp. 165–167. DOI: https://doi.org/10.1023/a:1019238812687
17. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F. Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 1998, no. 4, pp. 499–506.
18. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F. Nelinejnye ehffekty v processah aktivirovannogo okisleniya GaAs [Nonlinear effects in the activated oxidation of GaAs]. Voronezh, Izdatelsko-poligraficheskij centr Voronezhskogo gosudarstvennogo universiteta, 2008, 160 p. (in Russ.)
19. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Pinyaeva O. A., Kostryukov V. F., Skorokhodova S. M. Doklady Chemistry, 2002, vol. 385, no. 4–6, pp. 212–214. DOI: https://doi.org/10.1023/a:1019998719921
20. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Pinyaeva O. A., Pukhova V. V., Skorokhodova S. M. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2003, vol. 48, no. 7, pp. 977–981.
21. Mittova I. Ya., Pukhova V. V., Pinyaeva O. A., Emelyanova A. A. Russian Microelectronics, 2001, vol. 30, no. 2, pp. 127–131. DOI: https://doi.org/10.1023/A:1009433927773
22. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F., Donkareva I. A., Saratova A. Yu. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2004, vol. 49, no. 7, pp. 991-994.
23. Mittova I. Ya., Kostryukov V. F., Donkareva I. A., Pshestanchik V. R., Lopatin S. I., Saratova A. Yu. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2005, vol. 50, no. 6, pp. 869–873.
24. Mittova I. Ya., Kostryukov V. F. Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics, 2015, vol. 6, no. 3, pp. 424–434. DOI: https://doi.org/10.17586/2220-8054-2015-6-3-424-434 Available at: http://nanojournal.ifmo.ru/en/articles-2/volume6/6-3/chemistry/paper12/
25. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F., Donkareva I. A. Doklady chemistry, 2002, vol. 386, no. 4–6, pp. 258–260. DOI: https://doi.org/10.1023/A:1020731005579
26. Mittova I. Ya., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F., Donkareva I. A. Russian Jjournal of Inorganic Chemistry, 2003, vol. 48, no. 4, pp. 480–482.
27. Kostryukov V. F., Pshestanchik V. R., Donkareva I. A., Agapov B. L., Mittova I. Ya., Lopatin S. I. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2007, vol. 52, no. 10, pp. 1498–1502. DOI: https://doi.org/10.1134/S0036023607100038
28. Kostryukov V. F. Condensed Matter and Interphase, 2008, vol. 10, no. 2, pp. 122–131. Available at: http://www.kcmf.vsu.ru/resources/t_10_2_2008_005.pdf (in Russ.)
29. Mittova I. Ya., Kostryukov V. F., Pshestanchik V. R., Donkareva I. A., Agapov B. L. Russian Journal of Iinorganic Chemistry, 2008, vol. 53, no. 7, pp. 1018–1023. DOI: https://doi.org/10.1134/S0036023608070085
30. Kostryukov V. F., Donkareva I. A., Pshestanchik V. R., Agapov B. L., Mittova I. Ya., Lopatin S. I. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2008, vol. 53, no. 8, pp. 1273–1277. DOI: https://doi.org/10.1134/S0036023608080056
31. Kazenas E. K. Termodinamika isparenija oksidov [Thermodynamics of Evaporation of Oxides], Moscow, LKI Publ., 2007, 474 p. (in Russ.)
32. Mittova I. Ya., Lopatin S. I., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F., Sergeeva A. V., Penskoi P. K. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2005, vol. 50, no. 10, pp. 1488–1491.
33. Penskoi P. K., Kostryukov V. F., Pshestanchik V. R., Mittova I. Ya., Kutsev S. V., Kuznetsova I. V. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2009, vol. 54, no. 10, pp. 1564–1570. DOI: https://doi.org/10.1134/S0036023609100118
34. Kozhevnikova T. V., Penskoi P. K., Kostryukov V. F., Mittova I. Y., Kuznetsova I. V., Kutsev S. V. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2010, vol. 55, no. 12, pp. 1857–1862. DOI: https://doi.org/10.1134/S0036023610120077
35. Penskoi P. K., Kostryukov V. F., Pshestanchik V. R., Mittova I. Ya. Doklady Chemistry, 2007, vol. 414, no. 2, pp. 152–154. DOI: https://doi.org/10.1134/S0012500807060055
36. Penskoi P. K., Pshestanchik V. R., Kostryukov V. F., Agapov B. L., Mittova I. Ya., Kuznetsova I. V. Russian Journal of Inorganic Chemistry, 2008, vol. 53, no. 2, pp. 186–191. DOI: https://doi.org/10.1007/s11502-008-2006-0
37. Penskoi P. K., Mittova I. Ya., Kostryukov V. F., Kononova E. Yu., Reutova E. A. Condensed Matter and Interphase, 2008, vol. 10, no. 3, pp. 236–243. Available at: http://www.kcmf.vsu.ru/resources/t_10_3_2008_005.pdf (in Russ.)
38. Kozhevnikova T. V., Penskoi P. K., Kostryukov V. F., Mittova I. Ya., Agapov B. L., Kuznetsova I. V., Kutsev S. V. Condensed Matter and Interphase, 2010, vol. 12, no. 3, pp. 212–225. Available at: http://www.kcmf.vsu.ru/resources/t_12_3_2010_003.pdf (in Russ.).
39. Kostryukov V. F., Mittova I. Ya. Patent RF, no. 2538415, 2015. (in Russ.)
40. Kostryukov V. F., Mittova I. Ya. Patent RF, no. 2632261, 2017. (in Russ.)
41. Mittova I. Ya., Tomina E. V., Samsonov A. A., Lukin A. N., Simonov S. P. Inorganic Materials, 2005, vol. 41, no. 4, pp. 323–330. DOI: https://doi.org/10.1007/s10789-005-0132-y
42. Mittova I. Ya., Samsonov A. A. Inorganic Materials, 2006, vol. 42, no. 8, pp. 819–825. DOI: https://doi.org/10.1134/S0020168506080024
43. Ievlev V. M., Mittova I. Ya., Samsonov A. A., Tominа E. V., Kashkarov V. M. Doklady Chemistry, 2007, vol. 417, no. 2, pp. 277–281. DOI: https://doi.org/10.1134/S0012500807120014
44. Samsonov A. A., Mittova I. Y., Tomina E. V., Lukin A. N., Valyukhov D. P. Inorganic Materials, 2011, vol. 47, no. 2, pp. 100–106. DOI: https://doi.org/10.1134/S0020168511020154
45. Mittova I. Ya., Shvets V. A., Tomina E. V., Samsonov A. A., Sladkopevtsev B. V., Tret’yakov N. N. Inorganic Materials, 2013, vol. 49, no. 10, pp. 963–970. DOI: https://doi.org/10.1134/S0020168513100075
46. Mittova I. Ya., Tominа E. V., Lapenko A. A., Sladkopevtsev B. V. Nanosystems: Physics, Chemistry, Mathematics, 2012, vol. 3, no. 2, pp. 116–138. (in Russ.)
47. Tretiakov N. N., Mittova I. Ya., Kozik V. V., Sladkopevtcev B. V., Kostryukov V. F., Studenikina Y. I. Russian Physics Journal, 2014, vol. 57, no. 7/2, pp. 186–191. (in Russ.)
48. Mittova I. Ya., Tret’yakov N. N., Kostryukov V. F., Sladkopevtsev B. V. Russian Journal of General Chemistry, 2015, vol. 85, no. 4, pp. 796–801. DOI: https://doi.org/10.1134/S1070363215040040
49. Tret’yakov N. N., Shchedrina V. E., Sladkopevtsev B. V., Samsonov A. A., Mittova I. Ya. Condensed Matter and Interphase, 2016, vol. 18, no. 2, pp. 256–264. Available at: https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/132/119 (in Russ.)
50. Kostryukov V. F., Mittova I. Ya. Inorganic Materials, 2015, vol. 51, no. 5, pp. 479–483. DOI: https://doi.org/10.1134/S0020168515040056
51. Kostryukov V. F., Mittova I. Ya., Dimitrenko A. A. Inorganic Materials, 2017, vol. 53, no. 5, pp. 451–456. DOI: https://doi.org/10.1134/S0020168517050132
Опубликован
2018-12-13
Как цитировать
Kostryukov, V. F., Mittova, I. Y., TominаE. V., Sladkopevtsev, B. V., Parshina, A. S., & Balasheva, D. S. (2018). НЕЛИНЕЙНЫЕ ЭФФЕКТЫ СОВМЕСТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ ОКСИДОВ р- И d-ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ СОЗДАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ GaAs И InP ОБЗОР. Конденсированные среды и межфазные границы, 20(4), 506-536. https://doi.org/10.17308/kcmf.2018.20/625
Раздел
Статьи