СТРУКТУРА, МИКРОМОРФОЛОГИЯ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ВОЛЬФРАМА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Ключевые слова:
магнетронное распыление, пленка, вольфрам, спектральная эллипсометрия.
Аннотация
Исследованы структура, микроморфология и оптические характеристики толстых,
непрозрачных пленок вольфрама, нанесенных на подложки из кремния методом магнетрон-
ного распыления в режиме постоянного тока. По данным, полученным методом ДЭВЭО,
приповерхностный слой пленок — смесь аморфной и поликристаллической компонент. Кри-
сталлическая компонента отнесена к вольфраму, пространственная группа Im3m. Исследования
пленок методом РЭМ показали, что размеры неоднородностей на поверхности пленки состав-
ляют величину ~ 30 ÷ 300 нм, а толщина пленок ~ 400 нм. Методом спектральной эллипсоме-
трии определены дисперсионные зависимости показателя преломления, n(λ), и коэффициента
поглощения пленок вольфрама, k(λ), в диапазоне длин волн l = 250—1100 нм.
Скачивания
Данные скачивания пока не доступны.
Литература
1. Dooho Choi, Bincheng Wang, Suk Chung, Xuan Liu, Amith Darbal, Adam Wise, Noel T. Nuhfer, and Katayun Barmak. J. Vac. Sci. Technol. A, 2011, vol. 29, no. 5, p. 051512. DOI: 10.1116/1.3622619
2. Chen F. and Gardner D. IEEE Electron Device Lett., 1998, vol. 19, no. 12, pp. 508—510.
3. Sun T., Yao B., Warren A. P., Kumar V., Roerts S., Barmak K., and Coffey K. R. J. Vac. Sci. Technol. A, 2008, vol. 26, p. 605. http://dx.doi.org/10.1116/1.2938395
4. Sun T., Yao B., Warren A. P., Barmak K., Toney M. F., Peale R. E., and Coffey K. R. Phys. Rev. B, 2009, vol. 79, p. 041402. DOI: http://dx.doi.org/10.1103/Phys-RevB.79.041402
5. Sun T., Yao B., Warren A. P., Barmak K., Toney M. F., Peale R. E., and Coffey K. R. Phys. Rev. B, 2010, vol. 81, p. 155454. DOI: http://dx.doi.org/10.1103/Phys-RevB.81.155454
6. Hau-Riege C. S. Microelectron. Reliab., 2004, vol. 44, p. 195. DOI:10.1016/j.microrel.2003.10.020
7. Atuchin V. V., Grigorieva T. I., Pokrovsky L. D., Kruchinin V. N., Lychagin D. V., Ramana C. V. Modern Phys. Lett. B, 2012, vol. 26, no. 5, p. 1150029.
8. Gavrilova T. A., Atuchin V. V., Kruchinin V. N., Lychagin D. V. Phys. Procedia, 2012, vol. 23, p. 61. DOI:10.1016/j.phpro.2012.01.016
9. Atuchin V. V., Gavrilova T. A., Kochubey V. A., Kruchinin V. N. Pokrovsky L. D. Fund. probl. sovr. materialoved., 2011, vol. 8, iss. 4, p. 77.
10. Grigor’eva T.I. and Khasanov T. Kh. Optics and Spectroscopy. 2010, vol. 108, no. 4, p. 591. DOI: 10.1134/S0030400X10040132
11. Kochubey V. A., Atuchin V. V., Kozhukhov A. S., Kruchinin V. N., Pokrovsky L. D. // Fund. probl. sovr. materialoved., 2013, vol. 10, iss. 2, p. 194.
12. Kochubey V. A., Atuchin V. V., Pokrovsky L. D., Soldatenkov I. S., Troitskaya I. B., Kozhukhov A. S., Kruchinin V. N. Pis’ma o materialakh, 2013, vol. 3, iss. 4, p. 326.
13. Kochubey V. A., Atuchin V. V., Pokrovsky L. D., Soldatenkov I. S., Troitskaya I. B., Kozhukhov A. S., Kruchinin V. N. Fund. probl. sovr. materialoved., 2014, vol. 11, iss. 2, p. 153.
14. Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Grigor’eva T. I. Fund. probl. sovr. materialoved., 2005, vol. 2, iss. 3, p. 103.
15. Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Grigor’eva T. I. Fund. probl. sovr. materialoved., 2005, vol. 2, iss. 3, p. 103.
16. Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Khasanov T. Kh. Fund. probl. sovr. materialoved., 2007, vol. 4, iss. 3, p. 52.
17. Ramana C. V., Atuchin V. V., Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Shutthanandan V., Becker U., Ewing R. C. Appl. Surf. Sci., 2007, vol. 253, p. 5368.
DOI:10.1016/j.apsusc.2006.12.012
18. William Frank McClune (Ed.), «Powder Diffraction File. Inorg. Phases», JCPDS — Int. Cent. Diff. Data, 1601 Parc. Line, Swarthmore, Pensylvania 19081, USA; W, cub., set 04—080.
19. Rykhlitskii S. V., Spesivtsev E. V., Shvets V. A., Prokop’ev V. Yu. PTE, 2007, iss. 2, p. 160.
20. Ramana C. V., Utsunomiya S., Ewing R. C., Becker U., Atuchin V. V., Aliev V. Sh., Kruchinin V. N. Appl. Phys. Lett., 2008, vol. 92, p. 011917. http://dx.doi.
org/10.1063/1.2811955
21. Sarkisov S. Yu., Atuchin V, V., Gavrilova T. A., Kruchinin V. N., Berezhnaya S. A., Korotchenko Z. V., Tolbanov O. P., Chernyshev A. I. Izvestiya vuzov. Fizika, 2010, vol. 53, p. 346.
22. Mutilin S. V., Khasanov T. Optika i spektroskopiya, 2008. vol. 105, iss. 3, p. 512.
23. Nomerovannaya L. V., Kirillova M. M., and Noskov M. M. Soviet Physics JEPT, 1971, vol. 33, no. 2, p. 405.
24. Davazoglou D., Pallis G., Psycharis V., Gioti M., Logothetidis S. J. Appl. Phys., 1995, vol. 77, № 11, p. 6070. http://dx.doi.org/10.1063/1.359133
2. Chen F. and Gardner D. IEEE Electron Device Lett., 1998, vol. 19, no. 12, pp. 508—510.
3. Sun T., Yao B., Warren A. P., Kumar V., Roerts S., Barmak K., and Coffey K. R. J. Vac. Sci. Technol. A, 2008, vol. 26, p. 605. http://dx.doi.org/10.1116/1.2938395
4. Sun T., Yao B., Warren A. P., Barmak K., Toney M. F., Peale R. E., and Coffey K. R. Phys. Rev. B, 2009, vol. 79, p. 041402. DOI: http://dx.doi.org/10.1103/Phys-RevB.79.041402
5. Sun T., Yao B., Warren A. P., Barmak K., Toney M. F., Peale R. E., and Coffey K. R. Phys. Rev. B, 2010, vol. 81, p. 155454. DOI: http://dx.doi.org/10.1103/Phys-RevB.81.155454
6. Hau-Riege C. S. Microelectron. Reliab., 2004, vol. 44, p. 195. DOI:10.1016/j.microrel.2003.10.020
7. Atuchin V. V., Grigorieva T. I., Pokrovsky L. D., Kruchinin V. N., Lychagin D. V., Ramana C. V. Modern Phys. Lett. B, 2012, vol. 26, no. 5, p. 1150029.
8. Gavrilova T. A., Atuchin V. V., Kruchinin V. N., Lychagin D. V. Phys. Procedia, 2012, vol. 23, p. 61. DOI:10.1016/j.phpro.2012.01.016
9. Atuchin V. V., Gavrilova T. A., Kochubey V. A., Kruchinin V. N. Pokrovsky L. D. Fund. probl. sovr. materialoved., 2011, vol. 8, iss. 4, p. 77.
10. Grigor’eva T.I. and Khasanov T. Kh. Optics and Spectroscopy. 2010, vol. 108, no. 4, p. 591. DOI: 10.1134/S0030400X10040132
11. Kochubey V. A., Atuchin V. V., Kozhukhov A. S., Kruchinin V. N., Pokrovsky L. D. // Fund. probl. sovr. materialoved., 2013, vol. 10, iss. 2, p. 194.
12. Kochubey V. A., Atuchin V. V., Pokrovsky L. D., Soldatenkov I. S., Troitskaya I. B., Kozhukhov A. S., Kruchinin V. N. Pis’ma o materialakh, 2013, vol. 3, iss. 4, p. 326.
13. Kochubey V. A., Atuchin V. V., Pokrovsky L. D., Soldatenkov I. S., Troitskaya I. B., Kozhukhov A. S., Kruchinin V. N. Fund. probl. sovr. materialoved., 2014, vol. 11, iss. 2, p. 153.
14. Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Grigor’eva T. I. Fund. probl. sovr. materialoved., 2005, vol. 2, iss. 3, p. 103.
15. Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Grigor’eva T. I. Fund. probl. sovr. materialoved., 2005, vol. 2, iss. 3, p. 103.
16. Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Khasanov T. Kh. Fund. probl. sovr. materialoved., 2007, vol. 4, iss. 3, p. 52.
17. Ramana C. V., Atuchin V. V., Kochubey V. A., Pokrovsky L. D., Shutthanandan V., Becker U., Ewing R. C. Appl. Surf. Sci., 2007, vol. 253, p. 5368.
DOI:10.1016/j.apsusc.2006.12.012
18. William Frank McClune (Ed.), «Powder Diffraction File. Inorg. Phases», JCPDS — Int. Cent. Diff. Data, 1601 Parc. Line, Swarthmore, Pensylvania 19081, USA; W, cub., set 04—080.
19. Rykhlitskii S. V., Spesivtsev E. V., Shvets V. A., Prokop’ev V. Yu. PTE, 2007, iss. 2, p. 160.
20. Ramana C. V., Utsunomiya S., Ewing R. C., Becker U., Atuchin V. V., Aliev V. Sh., Kruchinin V. N. Appl. Phys. Lett., 2008, vol. 92, p. 011917. http://dx.doi.
org/10.1063/1.2811955
21. Sarkisov S. Yu., Atuchin V, V., Gavrilova T. A., Kruchinin V. N., Berezhnaya S. A., Korotchenko Z. V., Tolbanov O. P., Chernyshev A. I. Izvestiya vuzov. Fizika, 2010, vol. 53, p. 346.
22. Mutilin S. V., Khasanov T. Optika i spektroskopiya, 2008. vol. 105, iss. 3, p. 512.
23. Nomerovannaya L. V., Kirillova M. M., and Noskov M. M. Soviet Physics JEPT, 1971, vol. 33, no. 2, p. 405.
24. Davazoglou D., Pallis G., Psycharis V., Gioti M., Logothetidis S. J. Appl. Phys., 1995, vol. 77, № 11, p. 6070. http://dx.doi.org/10.1063/1.359133
Опубликован
2014-12-25
Как цитировать
Kochubey, V. A., Atuchin, V. V., Gavrilova, T. A., Kruchinin, V. N., & Pokrovsky, L. D. (2014). СТРУКТУРА, МИКРОМОРФОЛОГИЯ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ВОЛЬФРАМА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. Конденсированные среды и межфазные границы, 16(4), 449-455. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/859
Выпуск
Раздел
Статьи
