SPECTROSCOPY OF DEEP LEVELS BY LAPLACE-DLTS METHOD. KINETICS IONIZATION OF METASTABLE CENTRES
Abstract
Метод DLTS является одним из основных при определении параметров электрически активных центров локализации заряда в полупроводниках. С целью повышения точности и адекватности получаемых результатов в работе предложен метод, основанный на
применении обратного преобразования Лапласа. Показано, что использование этого метода позволяет определять параметры не только одновалентных, но и метастабильных центров, что невозможно при использовании традиционного метода DLTS.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Lang D. V. // J. Appl. Phys. 1974. V. 45. № 7. P. 3023.
2. Берман Л. С., Лебедев А. А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. 176 c.
3. Nolte D. D., Haller Е. Е. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. № 3. P. 900.
4. Dobaczewski L., Kaczor P., Hawkins I.D.,et al. // J. Appl. Phys. 1994. V. 76. № 1. P. 194.
5. Берман Л. С. // ФТП. 1998. Т. 32. Вып. 6. C. 688.
6. Lawson C. L., Hanson R. J. Solving least squares problems. Prentice-Hall, Englewood Cliffs. 1974. 340 pp.
7. Hansen R. C. // SIAM Review. 1992. V. 34. P. 561.
8. Левин М. Н., Ахкубеков А. Э., Татаринцев А. В. и др.// Труды IX Международной научно-технической конференции «Кибернетика и высокие технологии XXI века». Воронеж, 2008. Т. 2. С. 941.
9. Dobaczewski L., Peaker A. R., Bonde Nielsen K. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. № 9. P. 4689.
10. Provencher S. W. // Computer Phus. Commun. 1982. V. 27. P. 213.
11. Тихонов А. П., Арсенин В. Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979. 288 с.
12. Морозов В. А. Регулярные методы решения некорректно поставленных задач. М.: Наука, 1987. 240 с.
13. Левин М. Н., Татаринцев А. В., Ахкубеков А. Э. // ФТП. 2009. Т. 43. Вып. 5. C. 613.
14. Каданцев А. В., Котов Г. И., Левин М. Н. и др. // ПТЭ. 2004. № 6. C. 138.
15. Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. 456 с.
16. Денисов А. А., Лактюшкин В. Н., Садофьев Ю. Г. // Обзоры по электронной технике. 1985. Сер. 7. Вып. 15. С. 3.
2. Берман Л. С., Лебедев А. А. Емкостная спектроскопия глубоких центров в полупроводниках. Л.: Наука, 1981. 176 c.
3. Nolte D. D., Haller Е. Е. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. № 3. P. 900.
4. Dobaczewski L., Kaczor P., Hawkins I.D.,et al. // J. Appl. Phys. 1994. V. 76. № 1. P. 194.
5. Берман Л. С. // ФТП. 1998. Т. 32. Вып. 6. C. 688.
6. Lawson C. L., Hanson R. J. Solving least squares problems. Prentice-Hall, Englewood Cliffs. 1974. 340 pp.
7. Hansen R. C. // SIAM Review. 1992. V. 34. P. 561.
8. Левин М. Н., Ахкубеков А. Э., Татаринцев А. В. и др.// Труды IX Международной научно-технической конференции «Кибернетика и высокие технологии XXI века». Воронеж, 2008. Т. 2. С. 941.
9. Dobaczewski L., Peaker A. R., Bonde Nielsen K. // J. Appl. Phys. 2004. V. 96. № 9. P. 4689.
10. Provencher S. W. // Computer Phus. Commun. 1982. V. 27. P. 213.
11. Тихонов А. П., Арсенин В. Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979. 288 с.
12. Морозов В. А. Регулярные методы решения некорректно поставленных задач. М.: Наука, 1987. 240 с.
13. Левин М. Н., Татаринцев А. В., Ахкубеков А. Э. // ФТП. 2009. Т. 43. Вып. 5. C. 613.
14. Каданцев А. В., Котов Г. И., Левин М. Н. и др. // ПТЭ. 2004. № 6. C. 138.
15. Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. 456 с.
16. Денисов А. А., Лактюшкин В. Н., Садофьев Ю. Г. // Обзоры по электронной технике. 1985. Сер. 7. Вып. 15. С. 3.
Published
2010-06-29
How to Cite
Levin, M. N., Bormontov, A. E., Ahkubekov, A. E., & Tatokhin, E. A. (2010). SPECTROSCOPY OF DEEP LEVELS BY LAPLACE-DLTS METHOD. KINETICS IONIZATION OF METASTABLE CENTRES. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 12(2), 133-142. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1108
Issue
Section
Статьи
