ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК (СdS, СdO)/mono-Si МЕТОДОМ ПИРОЛИЗА АЭРОЗОЛЯ

Александр Владимирович Наумов; Анастасия Валерьевна Сергеева; Виктор Николаевич Семенов

Authors

Александр Владимирович Наумов
Анастасия Валерьевна Сергеева
Виктор Николаевич Семенов

Keywords:

сульфид кадмия, монокристаллический кремний, гетероструктуры, метод пиролиза аэрозоля

Abstract

Предложен метод, позволяющий получать пленки сульфида и оксида кадмия на монокристаллическом кремнии при использовании техники пиролиза аэрозоля раствора. Метод состоит в двухэтапном распылении на нагретую подложку раствора соли кадмия и раствора тиокарбамида как сульфидизирующего реагента. Сформированы зеркально гладкие (с коэффициентом отражения до 25 %) гетерофазные слои (CdS, CdO)/Si(100) толщиной до 250 нм, содержащие гексагональный сульфид (a = 0.4130 нм, c = 0.6707 нм) и кубический оксид (a = 0.4684 нм) кадмия. Определена ширина запрещенной зоны пленок, составляющая 2.45 – 2.48 эВ.