ЭВОЛЮЦИЯ ФАЗОВОГО СОСТАВА ДВУХСЛОЙНОЙ СТРУКТУРЫ TiO2/Nb2O5/Si ПРИ ВАКУУМНОМ ТЕРМИЧЕСКОМ ОТЖИГЕ

Dmitry A. Khoviv; Natalia A. Divakova; Sergey V. Zaytsev

Authors

Dmitry A. Khoviv PhD (physical and mathematical sciences), senior scientifi c employee, chair «Material Science and Industry of Nanosystems», Voronezh State University; tel.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
Natalia A. Divakova PhD (chemistry), senior scientifi c employee of Technopark, Voronezh State University; tel.: (4732) 276303, e-mail: dkhoviv@inbox.ru
Sergey V. Zaytsev post graduate student of chair of the general and inorganic chemistry, Voronezh State University; tel: (4732) 276303

Keywords:

тонкие пленки, оксид титана, оксид ниобия, дифрактометрия, вакуумный отжиг.

Abstract

Изучена эволюция фазового состава двухслойной тонкопленочной структуры оксида титана и оксида ниобия на подложке монокристаллического кремния. Показано, что процесс формирования сложного оксида происходит при охлаждении системы, нагретой до
температуры 1100 °C. Представлены результаты in situ измерений в вакуумной камере дифрактометра в процессе нагрева.