SYNTHESIS AND OPTICAL PROPERTIES OF NANOCRYSTALLINE In2O3 FILMS, DEPOSITION BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
Keywords:
нанокристаллические пленки оксида индия In2O3, магнетронное реактивное распыление, термооксидирование, оптические свойства.Abstract
Методом реактивного магнетронного распыления индия в плазме аргона и кис-
лорода c использованием модернизированной установки СИАМ, построенной на базе ваку-
умного поста УВН-1, синтезированы однофазные нанокристаллические пленки In2O3 со
структурой биксбиита. Размер кристаллитов, определенный по уширению рефлексов, составил
6 нм. Методами адсорбционной спектроскопии в области края собственного поглощения
установлено, что пленки оксида индия имеют два типа переходов: энергия непрямых пере-
ходов составляет значение Еgi=2.93 эВ, а прямых переходов Еgd=3.67 эВ. Термообработка в по-
токе кислорода показала, что максимальное пропускание 84 %. было достигнуто при темпера-
туре Т=473 К. При увеличении температуры до 773 К ширина запрещенной зоны уменьшает-
ся до Еg=3.64 эВ, что связано с размерным эффектом — увеличением до 14 нм размеров зерен
In2O3 при кристаллизации.
