THE INFLUENCE OF IRON FILM STRUCTURE ON SILICON SUBSTARE (100) ON RESISTANCE
Keywords:
пленка железа, структура, электросопротивление, межзеренная граница.Abstract
Изучено строение пленок железа в интервале толщин от 20 до 270 нм, полученных магнетронным напылением на монокристаллической кремниевой подложке, и показана их глобулярная структура, в которой глобула представляет собой конгломерат зерен. Определены
средние размеры глобул и зерен и показано, что присутствие кислорода в пленке приводит к увеличению их размеров. Измерено электросопротивление пленок и выявлена его зависимость от толщины. Сделано предположение о доминирующей роли общей протяженности межзеренных границ и установлено, что изменение ее величины с толщиной и влияние на электросопротивление могут быть оценены отношением средних диаметров глобул и зерен.
Downloads
Download data is not yet available.
References
Downloads
Published
2012-03-01
Issue
Section
Статьи
How to Cite
THE INFLUENCE OF IRON FILM STRUCTURE ON SILICON SUBSTARE (100) ON RESISTANCE. (2012). Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 14(1), 77-83. https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/950
