СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ ЖЕЛЕЗА И ТИТАНА, СФОРМИРОВАННЫХ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

Nikolay N. Afonin; Vera A. Logachova; Alexander M. Khoviv

Authors

Nikolay N. Afonin grand PhD (Chem.), senior scient ific employee, Voronezh State iversi ; tel: (473) 2208445, e-mail: nafonin@vspu.ac.ru
Vera A. Logachova PhD (Chem.), leading scient ific employee of Technopark, Voronezh State Un iversity ; tel: (473) 2208445, e-mail: kcmf@vsu.ru
Alexander M. Khoviv grand PhD, professor, Voronezh State Un iversi ; tel.: (473) 2208445, e-mail: khoviv@vsu.ru

Keywords:

пленки, магнетронное распыление, перераспределение компонентов, диффузия, нановолокна.

Abstract

Послойным магнетронным распылением металлов на монокристаллический кремний с последующим вакуумным отжигом получены тонкие (~ 150 нм) пленки сложных оксидов железа и титана. Методами РФА и РЭМ установлены их состав и структура поверхности. При температуре вакуумного отжига Т = 1073 К формируются пленки с полупроводниковыми свойствами, содержащие на поверхности нановолокна диаметром до 16 нм. Пленки являются магнитооднофазными и характеризуются ферромагнитным сигналом при комнатной температуре. Методом РОР исследовано перераспределение компонентов в процессе синтеза и установлена глубокая диффузия железа и титана в кремний в условиях эксперимента.