СПЕКТРОСКОПИЯ ГЛУБОКИХ УРОВНЕЙ МЕТОДОМ LAPLACE-DLTS. КИНЕТИКА ИОНИЗАЦИИ МЕТАСТАБИЛЬНЫХ ЦЕНТРОВ

Аннотация

Метод DLTS является одним из основных при определении параметров электрически активных центров локализации заряда в полупроводниках. С целью повышения точности и адекватности получаемых результатов в работе предложен метод, основанный на
применении обратного преобразования Лапласа. Показано, что использование этого метода позволяет определять параметры не только одновалентных, но и метастабильных центров, что невозможно при использовании традиционного метода DLTS.