СИНТЕЗ И МЕХАНИЗМ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЖНОГО ОКСИДА TiNbO4

Dmitry A. Hoviv; Natalia A. Divakova; Alexey N. Kharin

Авторы

Dmitry A. Hoviv Ховив Дмитрий Александрович — старший научный сотрудник Технопарка ВГУ; тел.: (4732) 276303; e-mail: dkhoviv@inbox.ru
Natalia A. Divakova Дивакова Наталья Александровна — старший научный сотрудник Технопарка ВГУ; тел.: (4732) 276303; e-mail: nada1@mail.ru
Alexey N. Kharin Харин Алексей Николаевич — директор Центра Коллективного пользования научным оборудованием ВГУ; тел.: (4732)207548; e-mail: a_kharin@mail.ru

Ключевые слова:

тонкие пленки, титан, ниобий, оксиды, ренгенофазовый анализ, ниобат титана.

Аннотация

В работе изучен процесс формирования сложного оксида TiNbO4 в тонкопленочном состоянии на подложке из монокристаллического кремния в условиях взаимодействия пары металл-оксид при фотонном отжиге в вакууме. Представлены данные рентгенофазового
анализа и предложена модель формирования оксида сложного состава TiNbO4.