СТРУКТУРА И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ДИОКСИДА ТИТАНА, ЛЕГИРОВАННЫХ ЛАНТАНОМ
Ключевые слова:
магнетронное распыление, термического оксидирования, импульсная фотон- ная обработка, оксидные пленки на основе титана и лантана, оптические свойства.Аннотация
Методами рентгенофазового анализа (РФА), растровой электронной микроскопии (РЭМ), атомно-силовой микроскопии (АСМ) и абсорбционной спектроскопии исследовался фазовый состав, структура и оптические свойства оксидных пленок на основе титана и лантана толщиной ~ 300 нм, полученных магнетронным распылением с последующим термическим оксидированием при различных температурах: Т = 723 К, Т = 873 К и Т = 1023 К и импульсной фотонной обработкой. Установлено, что в результате формируется пленка, содержащая фазы сложных оксидов на основе титана и лантана состава La2(TiO3)3 и La2TiO5 орторомбической модификации. В спектральном диапазоне от 350 до 900 нм пленки после термического оксидирования проявляют высокую прозрачность с максимумом пропускания 95 %. Анализ краевого поглощения показал, что полученные значения энергии прямых переходов составляют Egd1 = 3.70 и Egd2 = 3.06 эВ и соответствуют величинам ширины запрещенной зоны фаз, входящих в состав пленок.
