ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ГЛУБОКИХ УРОВНЕЙ В ЗАПРЕЩЕННОЙ ЗОНЕ ПОЛУПРОВОДНИКА МЕТОДОМ АНАЛИЗА ЗАВИСИМОСТЕЙ ИЗОТЕРМИЧЕСКОЙ РЕЛАКСАЦИИ ЕМКОСТИ

Alexander V. Budanov; Evgeny A. Tatokhin; Michael E. Semenov; Evgeniy V. Rudnev

Авторы

Alexander V. Budanov
Evgeny A. Tatokhin
Michael E. Semenov
Evgeniy V. Rudnev

Ключевые слова:

глубокие уровни, регрессионный анализ, корреляционный анализ, кластерный анализ.

Аннотация

В работе предложен новый метод спектроскопии глубоких уровней в запрещенной
зоне полупроводников на основе анализа зависимостей изотермической релаксации емкости
использованием методов регрессионного, корреляционного и кластерного анализа. Также
представлены результаты спектроскопии глубоких уровней в запрещенной зоне арсенида
галлия n-типа, полученные с помощью предлагаемого метода.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Биографии авторов

Alexander V. Budanov

Буданов Александр Владимирович — к. ф.-м. н., доцент кафедры физики Воронежский государственный
университет инженерных технологий; тел.: +7 (903)8527719, е-mail: budanova9@gmail.com
Evgeny A. Tatokhin

Татохин Евгений Анатольевич — к. ф.-м. н., доцент
кафедры физики, Воронежский государственный университет инженерных технологий; тел.: +7 (920)
2186892, е-mail: tea.vsuet@mail.ru
Michael E. Semenov

Семёнов Михаил Евгеньевич — д. ф.-м. н., профессор кафедры цифровых технологий, Воронежский государственный университет; тел.: +7 (903) 6528639, е-mail:mkl150@mail.ru
Evgeniy V. Rudnev

Руднев Евгений Владимирович — к. ф.-м. н., доцент
кафедры физики твердого тела и наноструктур, Воронежский государственный университет; тел.: +7 (951)
8764844, е-mail: rudneff@mail.ru