ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРЫ ПЛЕНОК ЖЕЛЕЗА НА ПОВЕРХНОСТИ Si (100) НА ИХ ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЕ

Sergey N. Saltykov

Авторы

Sergey N. Saltykov Салтыков Сергей Николаевич — к.х.н, доцент кафедры химии Липецкого государственного технического университета; тел.: (473) 2208445, e-mail: saltsn@ lipetsk.ru

Ключевые слова:

пленка железа, структура, электросопротивление, межзеренная граница.

Аннотация

Изучено строение пленок железа в интервале толщин от 20 до 270 нм, полученных магнетронным напылением на монокристаллической кремниевой подложке, и показана их глобулярная структура, в которой глобула представляет собой конгломерат зерен. Определены
средние размеры глобул и зерен и показано, что присутствие кислорода в пленке приводит к увеличению их размеров. Измерено электросопротивление пленок и выявлена его зависимость от толщины. Сделано предположение о доминирующей роли общей протяженности межзеренных границ и установлено, что изменение ее величины с толщиной и влияние на электросопротивление могут быть оценены отношением средних диаметров глобул и зерен.