ROLE OF ACTIVE CENTERS V2O5 IN THE OXIDATION PROCESS OF InP
Abstract
Методом электровзрыва проводника сформированы наноостровковые структуры (V2O5)InP. Установлено влияние условий электровзрывного синтеза (расстояния между взрываемой проволокой и подложкой, длины проволоки, давления газа в системе) на характеристики полученных островков V2O5. Показано, что нанесенные на поверхность InP островки оксида ванадия выступают в роли активных центров в процессе термического окисления полупроводника при температурах 400, 500 и 550 °С. Максимальное увеличение скорости роста пленок на поверхности InP с островками по сравнению с собственным окислением проявляется на начальном (до 10 минут) этапе процесса. Изучена морфология поверхности полученных слоев на фосфиде индия.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Бурцев В. А., Калинин Н. В., Лучинский А. В. Электрический взрыв проводников и его применение в электрофизических установках. М.: Энергоатомиздат, 1990. 288 с.
2. Лернер М. И., Давыдович В. И. и др. // Физическая мезомеханика. 2004. Т. 7. Специальный выпуск S2. С. 340—343.
3. Мутас И. Ю., Ильин А. П. // Известия Томского политехнического университета. 2004. Т. 307. № 4. С. 89—92.
4. Иванов В. Г., Гаврилюк О. В. // Физика горения и взрыва. 1999. Т. 35. № 6. С. 53—60.
5. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2010. Т. 46. № 4. С. 441—446.
6. Сангвал К. Травление кристаллов: Теория, эксперимент, применение. М.: Мир, 1990. С. 496.
7. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2005. Т. 41. № 3. С 1—5.
8. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2004. Т. 40. № 5. С 519—523.
9. Лапенко А. А. и др. // Неорганические материалы. 2008. Т. 44. № 11. С. 1293—1299.
10. Иевлев В. М., Миттова И. Я. и др. // Доклады РАН. 2007. Т. 417. № 4. С. 1—5.
2. Лернер М. И., Давыдович В. И. и др. // Физическая мезомеханика. 2004. Т. 7. Специальный выпуск S2. С. 340—343.
3. Мутас И. Ю., Ильин А. П. // Известия Томского политехнического университета. 2004. Т. 307. № 4. С. 89—92.
4. Иванов В. Г., Гаврилюк О. В. // Физика горения и взрыва. 1999. Т. 35. № 6. С. 53—60.
5. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2010. Т. 46. № 4. С. 441—446.
6. Сангвал К. Травление кристаллов: Теория, эксперимент, применение. М.: Мир, 1990. С. 496.
7. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2005. Т. 41. № 3. С 1—5.
8. Миттова И. Я. и др. // Неорганические материалы. 2004. Т. 40. № 5. С 519—523.
9. Лапенко А. А. и др. // Неорганические материалы. 2008. Т. 44. № 11. С. 1293—1299.
10. Иевлев В. М., Миттова И. Я. и др. // Доклады РАН. 2007. Т. 417. № 4. С. 1—5.
Published
2011-03-10
How to Cite
Sladkopevtcev, B. V., Tomina, E. V., & Mittova, I. Y. (2011). ROLE OF ACTIVE CENTERS V2O5 IN THE OXIDATION PROCESS OF InP. Kondensirovannye Sredy I Mezhfaznye Granitsy = Condensed Matter and Interphases, 13(1), 96-104. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/1027
Issue
Section
Статьи
