METHODS OF MEASUREMENT OF ANISOTROPIC ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND FILMS
Abstract
Представлен быстрый способ определения компонент тензора удельной электропроводности тонких полупроводниковых пластин на основе известного четырехзондового метода. Предложенный метод теоретически обоснован путем решения соответствующих
краевых задач электродинамики, отличается простотой измерений и расчётов, не требует применения сложной аппаратуры, выполнен учет граничных условий.
Downloads
Download data is not yet available.
References
1. Батавин B. В., Концевой Ю. А., Федорович Ю. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур. М.: Радио и связь, 1985.
2. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987.
3. Маренкин С. Ф., Трухан В. М. Фосфиды, арсениды цинка и кадмия. Минск: Вараскин, 2010.
4. Снарский А. А., Пальти А. М., Ащеулов А. А. // ФТП. 1997. Т. 31. № 11. С. 1281.
5. Неизвестный И. Г., Гридчин В. А. // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 2. С. 88.
6. Баранский П. И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Киев: Наукова думка, 1975.
7. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. С. 130.
8. Прудников А. П., Брычков Ю. А., Маричев О. И. Интегралы и ряды. Элементарные функции. М.: Наука, 1981. Т. 1. С. 730.
9. Градштейн И. С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М.: Наука, 1971. С. 54.
2. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987.
3. Маренкин С. Ф., Трухан В. М. Фосфиды, арсениды цинка и кадмия. Минск: Вараскин, 2010.
4. Снарский А. А., Пальти А. М., Ащеулов А. А. // ФТП. 1997. Т. 31. № 11. С. 1281.
5. Неизвестный И. Г., Гридчин В. А. // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 2. С. 88.
6. Баранский П. И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Киев: Наукова думка, 1975.
7. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. С. 130.
8. Прудников А. П., Брычков Ю. А., Маричев О. И. Интегралы и ряды. Элементарные функции. М.: Наука, 1981. Т. 1. С. 730.
9. Градштейн И. С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М.: Наука, 1971. С. 54.
Published
2013-09-27
How to Cite
Filippov, V. V., Polyakov, N. N., & Bormontov, E. N. (2013). METHODS OF MEASUREMENT OF ANISOTROPIC ELECTRICAL CONDUCTIVITY OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND FILMS. Condensed Matter and Interphases, 15(3), 357-360. Retrieved from https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/920
Issue
Section
Статьи
