МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И ПЛЕНОК
Ключевые слова:
анизотропный полупроводник, пленка, распределение потенциала, электропроводность.
Аннотация
Представлен быстрый способ определения компонент тензора удельной электропроводности тонких полупроводниковых пластин на основе известного четырехзондового метода. Предложенный метод теоретически обоснован путем решения соответствующих
краевых задач электродинамики, отличается простотой измерений и расчётов, не требует применения сложной аппаратуры, выполнен учет граничных условий.
Скачивания
Данные скачивания пока не доступны.
Литература
1. Батавин B. В., Концевой Ю. А., Федорович Ю. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур. М.: Радио и связь, 1985.
2. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987.
3. Маренкин С. Ф., Трухан В. М. Фосфиды, арсениды цинка и кадмия. Минск: Вараскин, 2010.
4. Снарский А. А., Пальти А. М., Ащеулов А. А. // ФТП. 1997. Т. 31. № 11. С. 1281.
5. Неизвестный И. Г., Гридчин В. А. // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 2. С. 88.
6. Баранский П. И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Киев: Наукова думка, 1975.
7. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. С. 130.
8. Прудников А. П., Брычков Ю. А., Маричев О. И. Интегралы и ряды. Элементарные функции. М.: Наука, 1981. Т. 1. С. 730.
9. Градштейн И. С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М.: Наука, 1971. С. 54.
2. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов. М.: Высшая школа, 1987.
3. Маренкин С. Ф., Трухан В. М. Фосфиды, арсениды цинка и кадмия. Минск: Вараскин, 2010.
4. Снарский А. А., Пальти А. М., Ащеулов А. А. // ФТП. 1997. Т. 31. № 11. С. 1281.
5. Неизвестный И. Г., Гридчин В. А. // Микроэлектроника. 2009. Т. 38. № 2. С. 88.
6. Баранский П. И., Клочков В. П., Потыкевич И. В. Полупроводниковая электроника. Киев: Наукова думка, 1975.
7. Ландау Л. Д., Лифшиц Е. М. Электродинамика сплошных сред. М.: Наука, 1982. С. 130.
8. Прудников А. П., Брычков Ю. А., Маричев О. И. Интегралы и ряды. Элементарные функции. М.: Наука, 1981. Т. 1. С. 730.
9. Градштейн И. С., Рыжик И. М. Таблицы интегралов, сумм, рядов и произведений. М.: Наука, 1971. С. 54.
Опубликован
2013-09-27
Как цитировать
Filippov, V. V., Polyakov, N. N., & Bormontov, E. N. (2013). МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ АНИЗОТРОПНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И ПЛЕНОК. Конденсированные среды и межфазные границы, 15(3), 357-360. извлечено от https://journals.vsu.ru/kcmf/article/view/920
Выпуск
Раздел
Статьи
